[发明专利]一种激光光刻机控制系统及其光刻机

权利要求书

1.一种激光光刻机控制系统，其特征在于，包括单片机、曝光控制电路、X-Y轴光栅尺正 交脉冲计数处理电路、直线电机控制电路、交流伺服控制电路和通信接口电路，其中，

所述单片机包括第一单片机和第二单片机，所述通信接口电路包括第一通信接口电路 和第二通信接口电路，其中，

所述第一单片机输入端连接X-Y轴光栅尺正交脉冲计数处理电路，输出端连接曝光控 制电路和直线电机控制电路，并与第一通信接口电路通信连接；

所述第二单片机输出端连接所述交流伺服控制电路，并与第二通信接口电路通信连 接。

2.如权利要求1所述的一种激光光刻机控制系统，其特征在于，所述X-Y轴光栅尺正交 脉冲计数处理电路为CMOS专用集成电路HCTL-2032，所述CMOS专用集成电路HCTL-2032包括 数字滤波电路、细分辨向电路、32位可逆计数器、32位数据锁存器和接口处理电路，用于同 时接收X轴与Y轴两路正交编码脉冲，其中：

X轴与Y轴光栅尺输出的正交脉冲信号通过光电隔离器U51X、U52X、U51Y、U52Y，由所述 CMOS专用集成电路HCTL-2032的CHAX、CHBX、CHAY、CHBY端输入，经过输入电路中的施密特触 发器和数字滤波电路滤除干扰信号，再通过细分辨向电路、32位可逆计数器和32位数据锁 存器，经输出接口处理电路的数据端D0-D7输出至所述第一单片机。

3.如权利要求2所述的一种激光光刻机控制系统，其特征在于，所述数字滤波电路用于 滤除小于1V的低电平噪声、高电平和持续时间短的噪声脉冲，并将所述滤除干扰信号后的 正交脉冲信号送入所述细分辩向电路。

4.如权利要求3所述的一种激光光刻机控制系统，其特征在于，所述细分辨向电路先进 行四倍频细分后进行辨向，用于提高光栅尺的测量精度，其中：

X轴的正交脉冲信号CHAX、CHBX经细分辨向后从CNTX信号端输出细分脉冲，从UP/DNX端 输出方向信号，当UP/DNX为高电位时为X轴光栅尺正向运动，当UP/DNX为低电位时为光栅尺 反向运动；

Y轴的正交脉冲信号CHAY、CHBY经细分辨向后从CNTY信号端输出细分脉冲，从UP/DNY端 输出方向信号，当UP/DNY为高电位时为Y轴光栅尺正向运动，当UP/DNY为低电位时为光栅尺 反向运动。

5.如权利要求4所述的一种激光光刻机控制系统，其特征在于，所述32位可逆计数器用 于对X轴与Y轴脉冲进行计数，其中：

当方向信号UP/DNX或UP/DNY为高电平，对应的32位可逆计数器作加法计数器；

当方向信号UP/DNX或UP/DNY为低电平，对应的32位可逆计数器作减法计数器。

6.如权利要求5所述的一种激光光刻机控制系统，其特征在于，所述32位数据锁存器包 括输入信号IX0-IX31、IY0-IY31，输出信号DX0-DX31、DY0-DY31和读控制信号OE,所述32位 可逆计数器的计数结果从OX0-OX31、OY0-OY31端输出，分别从所述32位数据锁存器的输入 端IX0-IX31、IY0-IY31输入，并由所述32位数据锁存器的输出端DX0-DX31、DY0-DY31输出， 其中：

在读取所述32位可逆计数器的计数结果时，先发送所述读控制信号待数据锁存 后再读取数据。

7.如权利要求6所述的一种激光光刻机控制系统，其特征在于，所述接口处理电路包括 输入信号DX0-DX31、DY0-DY31、数据字节选择端SEL1、SEL2、读控制信号选相信号X/Y和 输出信号D0-D7，所述输出信号D0-D7采用输出8位数据线，通过改变数据字节选择端SEL1、 SEL2的值，分4个字节依次读出32位数据。