[发明专利]一种石墨烯“卷对卷”转移装备及转移方法

权利要求书

1.一种石墨烯“卷对卷”转移装备，其特征在于，该装备由上料装置(001)、压合装置(002)、加电鼓泡预剥离装置(003)、加电剥离装置(004)、水冲洗装置(005)、吹干装置(006)和收卷装置(007)组成；上述装置依次顺序排布，并通过导向辊调整方向；所述压合装置(002)包括一对主动施压辊，在施加压力同时可以加热；所述加电鼓泡预剥离装置(003)包括数对主动施压辊，加压同时可以加电；所述加电剥离装置(004)包括一对主动施压辊，加压同时可以加电。

2.一种使用如权利要求1所述的一种石墨烯“卷对卷”转移装备的转移方法，其特征在于，步骤如下：

步骤S01，在生长石墨烯表面涂布一层透明支撑涂层(02)，并烘干收卷，得到铜箔/石墨烯/透明支撑涂层的复合结构1；其中的透明支撑涂层(02)为甲基丙烯酸酯和丙烯酸酯单体中的一种或几种的共聚物；透明支撑涂层(02)厚度为0.5～20um；

步骤S02，将步骤S01中得到的复合结构1卷材安放到转移装备中上料装置(001)上，通过压合装置(002)加压加热方式与目标基底(01)预压合，得到目标基底/透明支撑涂层/石墨烯/铜箔的复合结构2；其中压合的压力范围为0.1MPa至1MPa，压合加热温度为50至150℃；

步骤S03，对步骤S02中得到的复合结构2通过加电鼓泡预剥离装置(003)，使石墨烯(03)与生长基底铜箔(04)预分离；其中加压加电鼓泡预剥离过程的压力范围为0.1MPa至1MPa，施加电流范围为1～10A；加压加电鼓泡预剥离过程的时间为1～10min；

步骤S04，在转移装备上通过加电剥离装置(004)，使生长基底铜箔(04)与石墨烯(03)彻底分离，得到目标基底/透明支撑涂层/石墨烯的复合结构3；其中加压加电剥离的压力范围为0.1MPa至1MPa，施加电流范围为1～10A；

步骤S05，对步骤S04中得到的复合结构3用去离子水水冲洗装置(005)冲洗，用吹干装置(006)吹干，最后用收卷装置(007)收卷。