[发明专利]一种光学相控阵

权利要求书

1.一种光学相控阵，其特征在于，包括相干光源、分束模块、相位调制模块、出射模块；其 中，相位调制模块包括多个相位调制器，分束模块用于对相干光源产生的相干光进行相干 分束后，将各路相干光分别输入到一对应相位调制器，各相位调制器用于通过外加电信号 改变自身有效折射率对输入的相干光进行独立相位调节后输入到出射模块，经出射模块在 设定方向上输出并产生干涉。

2.如权利要求1所述的光学相控阵，其特征在于，所述分束模块的输入端与相干光源的输出 端通过光波导直接耦合或通过光栅进行空间耦合接收相干光源产生的相干光。

3.如权利要求1或2所述的光学相控阵，其特征在于，所述分束模块的输出端与相位控制模 块的输入端通过光波导连接。

4.如权利要求1所述的光学相控阵，其特征在于，所述分束模块为单一或级联的MMI分束 器、Y型分束器或1分N星形耦合器；其中，该星型耦合器各路具有相同或不同的功率 分配。

5.如权利要求1所述的光学相控阵，其特征在于，通过空间耦合的方式实现相干分束，相干 光直接耦合入相位调制模块。

6.如权利要求1所述的光学相控阵，其特征在于，所述相位调制器为载流子注入式相位调制 器。

7.如权利要求6所述的光学相控阵，其特征在于，所述相位调制器的脊型波导区宽度为 450～600nm，两侧掺杂区与波导区间的过渡距离为400～600nm，掺杂区浓度为 10^19～10^20/cm^3。

8.如权利要求1所述的光学相控阵，其特征在于，所述出射模块为光波导；所述光波导与调 制单元阵列构成一维阵列、二维或多维阵列；其中，所述相位调制模块中的相位调制器构 成所述调制单元阵列。

9.如权利要求1所述的光学相控阵，其特征在于，所述出射模块为阵列波导光栅；所述阵列 波导光栅的各个阵列单元具有相等或不等间距排布。

10.如权利要求9所述的光学相控阵，其特征在于，所述阵列波导光栅的光栅宽度为0.8～15um， 各光栅之间的中心间距为2～20um，光栅周期为500nm～750nm，占空比为30％～70％。