[发明专利]平面内振动梁加速度计

权利要求书

1.一种用于加速度计的设备，包括：

悬垂的检验质量；

支撑基座，其定义了平面并被配置成支撑悬垂的检验质量；

弯曲部，被配置成灵活地将悬垂的检验质量连接到支撑基座，其中弯曲部在支撑基座内悬挂悬垂的检验质量，并且其中，响应于在由支撑基座定义的平面中的设备的加速度，悬垂的检验质量在由支撑基座定义的平面中绕弯曲部旋转；和

至少两个谐振器，被配置成灵活地将悬垂的检验质量连接到支撑基座，并基于悬垂的检验质量绕弯曲部的旋转而弯曲，其中至少两个谐振器中的每个以相应的谐振频率谐振，

其中悬垂的检验质量、支撑基座、弯曲部和至少两个谐振器由单片材料构成，并且

其中悬垂的检验质量、弯曲部和至少两个谐振器是平面的。

2.权利要求1所述的设备，进一步包括：

处理器，被配置成至少部分地基于至少两个谐振器中的每个的相应的谐振频率的变化来确定设备的加速度的加速度测量；和

系绳，被耦合到悬垂的检验质量，其中系绳被配置成相对于支撑基座的定义平面来限制悬垂的检验质量的平面外的运动。

3.一种用于加速度计的方法，包括：

通过多个电极保持加速度计的至少两个谐振器的谐振，

在悬垂的检验质量在由支撑基座定义的平面中绕弯曲部旋转时并且响应于由加速度计的支撑基座定义的平面中的加速度计的加速度，通过至少两个谐振器的第一谐振器来接收第一力，

在悬垂的检验质量在由支撑基座定义的平面中绕弯曲部旋转时并且响应于由加速度计的支撑基座定义的平面中的加速度计的加速度，通过至少两个谐振器的第二谐振器来接收第二力，

通过多个电极检测相应的信号，其指示由第一力和第二力引起的第一和第二谐振器中的每个的谐振频率的相应的变化；和

由加速度计输出相应的信号，

其中悬垂的检验质量、支撑基座、弯曲部和至少两个谐振器由单片材料构成，并且

其中悬垂的检验质量、弯曲部和至少两个谐振器是平面的。