[发明专利]一种基于PVD制备全固态锂离子电池用薄层金属锂基负极的方法

权利要求书

1.一种基于PVD制备全固态锂离子电池用薄层金属锂基负极的方法，其特征在于所述方法步骤如下：

一、将商业化锂离子电池负极用集流体铜箔表面清洁后，置于物理气相沉积的腔体内作为沉积基底；

二、将待沉积金属锂源和保护层金属源分别制成靶材置于腔体内，作为沉积层金属源；

三、设置物理气相沉积参数，真空状态下，利用PVD方法在铜箔表面依次沉积金属锂基负极材料沉积层和保护金属层。

2.根据权利要求1所述的基于PVD制备全固态锂离子电池用薄层金属锂基负极的方法，其特征在于所述金属锂基负极材料为金属锂或金属锂的合金化合物。

3.根据权利要求2所述的基于PVD制备全固态锂离子电池用薄层金属锂基负极的方法，其特征在于所述金属锂基负极材料为金属锂的合金化合物时，合金化合物中非锂金属成分所占质量比例为3～10%。

4.根据权利要求1所述的基于PVD制备全固态锂离子电池用薄层金属锂基负极的方法，其特征在于所述金属锂基负极材料的沉积厚度为0.01～1μm。

5.根据权利要求1所述的基于PVD制备全固态锂离子电池用薄层金属锂基负极的方法，其特征在于所述保护层金属源为金属铜、金属镍、金属铟、金属锡、金属铬、金属铝、金属锌以及以上金属所合成的任意金属合金化合物中的一种。

6.根据权利要求1所述的基于PVD制备全固态锂离子电池用薄层金属锂基负极的方法，其特征在于所述保护金属层厚度在0.01～1μm。

7.根据权利要求1所述的基于PVD制备全固态锂离子电池用薄层金属锂基负极的方法，其特征在于所述PVD方法为真空蒸镀、磁控溅射镀、电弧等离子体镀、离子镀以及分子束外延中的至少一种。