[发明专利]一种扩散插片装置在审

专利信息
申请号: 201511011229.6 申请日: 2015-12-30
公开(公告)号: CN105702613A 公开(公告)日: 2016-06-22
发明(设计)人: 蒋建宝;李科伟 申请(专利权)人: 无锡赛晶太阳能有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 江苏圣典律师事务所 32237 代理人: 贺翔
地址: 214251 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 扩散 装置
【说明书】:

技术领域

发明属于晶硅太阳能电池制造领域,具体涉及一种扩散插片装置。

背景技术

晶硅太阳能电池制造的核心工序是在硅片表面制造PN结,制造PN结的工艺过程是:

清洗制绒后硅片—插入石英舟—进入扩散炉管—运行扩散工艺—出扩散炉管—下片;其中,硅片插入石英舟的过程比较繁琐,因为硅片必须至少有一面不受遮挡,也就是说,石英舟的每个卡槽中最多能插入2片,一舟有400片,如果逐片插入的话,需要重复插片动作400次,每次1.5秒的话,需要10分钟才能插完一个石英舟。造成了劳动力的极大浪费。

发明内容

本发明的目的在于克服上述现有技术的不足,提供一种结构简单、操作方便、提高生产效率、节约人力的扩散插片装置。

本发明所述的一种扩散插片装置,包括支撑斜面体,在支撑斜面体的斜面上相对设有石英舟定位卡条与硅片盒定位卡条,在石英舟定位卡条上设有带有卡槽的石英舟,在硅片盒定位卡条上设有带有卡槽的硅片盒,在硅片盒定位条的右侧上下设有推挡装置。

进一步改进,所述的推挡装置由推挡板以及与推挡板连接的推把手构成。

进一步改进,所述的推把手上设有保证推挡板沿直线运动的卡扣。

进一步改进,所述的支撑斜面体的倾斜角度为30-70°。

本发明的原理在于:利用斜面使硅片盒内的硅片在重力的作用下侧面和下面对齐,提前通过斜面上的定位卡条调整硅片盒的高度(一次调好)使硅片盒与石英舟的卡槽相对应,调整好后固定定位卡条,然后利用推挡装置,将硅片盒内硅片一次推入石英舟内,能在2分钟内插完一个石英舟。

本发明的有益效果在于:

与现有技术相比,本发明利用斜面使硅片盒内的硅片在重力的作用下侧面和下面对齐,通过斜面上的定位卡条调整硅片盒的高度(一次调好)使硅片盒与石英舟的卡槽相对应,然后利用推挡装置,将硅片盒内硅片一次推入石英舟内,能在2分钟内插完一个石英舟,比现有技术提高了5倍的时间,大大提高了生产效率,节约了人力,节约了成本。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

具体实施方式

如图1所示,本发明所述的一种扩散插片装置,包括倾斜角度为30-70°的支撑斜面体1,在支撑斜面体1的斜面上相对设有石英舟定位卡条2与硅片盒定位卡条3,在石英舟定位卡条2上设有带有卡槽41的石英舟4,在硅片盒定位卡条3上设有带有卡槽51的硅片盒5,在硅片盒定位条3的右侧上下设有推挡装置,所述的推挡装置由推挡板6以及与推挡板连接的推把手7构成,推把手上设有保证推挡板沿直线运动的卡扣8。

本发明的工作原理:

利用斜面使硅片盒内的硅片在重力的作用下侧面和下面对齐,通过斜面上的定位卡条调整硅片盒的高度(一次调好)使硅片盒与石英舟的卡槽相对应,然后利用推挡装置,将硅片盒内硅片一次推入石英舟内,能在2分钟内插完一个石英舟。

以上所述仅是本发明的优选实施方法,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以作出若干改进,这些改进也应视为本发明的保护范围。

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