[发明专利]一种扩散插片装置在审
申请号: | 201511011229.6 | 申请日: | 2015-12-30 |
公开(公告)号: | CN105702613A | 公开(公告)日: | 2016-06-22 |
发明(设计)人: | 蒋建宝;李科伟 | 申请(专利权)人: | 无锡赛晶太阳能有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人: | 贺翔 |
地址: | 214251 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 扩散 装置 | ||
技术领域
本发明属于晶硅太阳能电池制造领域,具体涉及一种扩散插片装置。
背景技术
晶硅太阳能电池制造的核心工序是在硅片表面制造PN结,制造PN结的工艺过程是:
清洗制绒后硅片—插入石英舟—进入扩散炉管—运行扩散工艺—出扩散炉管—下片;其中,硅片插入石英舟的过程比较繁琐,因为硅片必须至少有一面不受遮挡,也就是说,石英舟的每个卡槽中最多能插入2片,一舟有400片,如果逐片插入的话,需要重复插片动作400次,每次1.5秒的话,需要10分钟才能插完一个石英舟。造成了劳动力的极大浪费。
发明内容
本发明的目的在于克服上述现有技术的不足,提供一种结构简单、操作方便、提高生产效率、节约人力的扩散插片装置。
本发明所述的一种扩散插片装置,包括支撑斜面体,在支撑斜面体的斜面上相对设有石英舟定位卡条与硅片盒定位卡条,在石英舟定位卡条上设有带有卡槽的石英舟,在硅片盒定位卡条上设有带有卡槽的硅片盒,在硅片盒定位条的右侧上下设有推挡装置。
进一步改进,所述的推挡装置由推挡板以及与推挡板连接的推把手构成。
进一步改进,所述的推把手上设有保证推挡板沿直线运动的卡扣。
进一步改进,所述的支撑斜面体的倾斜角度为30-70°。
本发明的原理在于:利用斜面使硅片盒内的硅片在重力的作用下侧面和下面对齐,提前通过斜面上的定位卡条调整硅片盒的高度(一次调好)使硅片盒与石英舟的卡槽相对应,调整好后固定定位卡条,然后利用推挡装置,将硅片盒内硅片一次推入石英舟内,能在2分钟内插完一个石英舟。
本发明的有益效果在于:
与现有技术相比,本发明利用斜面使硅片盒内的硅片在重力的作用下侧面和下面对齐,通过斜面上的定位卡条调整硅片盒的高度(一次调好)使硅片盒与石英舟的卡槽相对应,然后利用推挡装置,将硅片盒内硅片一次推入石英舟内,能在2分钟内插完一个石英舟,比现有技术提高了5倍的时间,大大提高了生产效率,节约了人力,节约了成本。
附图说明
图1是本发明的结构示意图。
具体实施方式
如图1所示,本发明所述的一种扩散插片装置,包括倾斜角度为30-70°的支撑斜面体1,在支撑斜面体1的斜面上相对设有石英舟定位卡条2与硅片盒定位卡条3,在石英舟定位卡条2上设有带有卡槽41的石英舟4,在硅片盒定位卡条3上设有带有卡槽51的硅片盒5,在硅片盒定位条3的右侧上下设有推挡装置,所述的推挡装置由推挡板6以及与推挡板连接的推把手7构成,推把手上设有保证推挡板沿直线运动的卡扣8。
本发明的工作原理:
利用斜面使硅片盒内的硅片在重力的作用下侧面和下面对齐,通过斜面上的定位卡条调整硅片盒的高度(一次调好)使硅片盒与石英舟的卡槽相对应,然后利用推挡装置,将硅片盒内硅片一次推入石英舟内,能在2分钟内插完一个石英舟。
以上所述仅是本发明的优选实施方法,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以作出若干改进,这些改进也应视为本发明的保护范围。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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