[发明专利]一种蜂窝结构低温等离子体发生装置在审
申请号: | 201511014560.3 | 申请日: | 2015-12-31 |
公开(公告)号: | CN105451425A | 公开(公告)日: | 2016-03-30 |
发明(设计)人: | 施小东;施秦峰;祝建军;袁旭光 | 申请(专利权)人: | 浙江大维高新技术股份有限公司 |
主分类号: | H05H1/24 | 分类号: | H05H1/24 |
代理公司: | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人: | 金根叶 |
地址: | 321031 浙江省金华*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 蜂窝 结构 低温 等离子体 发生 装置 | ||
1.一种蜂窝结构低温等离子体发生装置,包括基架(1)、由基架支撑的等离子体反应通道(2)、位于等离子体反应通道两端的阴极框架(3)、用于支撑阴极框架的若干绝缘子(4);
所述等离子体反应通道包括若干紧靠相连的空心管状的阳极(21)、位于每一阳极内的阴极,阳极与基架相连接地;
所述阴极包括阴极线(22)、设置在阴极线上的若干放电增强器(23),阴极线的端部连接于阴极框架,则阴极线悬空于阳极中央。
2.根据权利要求1所述的蜂窝结构低温等离子体发生装置,其特征在于,所述阳极为空心正六边形管状,则若干阳极紧靠连接形成蜂窝状。
3.根据权利要求1或2所述的蜂窝结构低温等离子体发生装置,其特征在于,所述放电增强器为正六边形片状且带有镂空结构(24),所述镂空结构以阴极线为中心呈圆周均匀分布。
4.根据权利要求3所述的蜂窝结构低温等离子体发生装置,其特征在于,所述阴极框架位于等离子体反应通道的上方和下方,由若干杆件横纵连接而成;阴极线的上端焊接在位于上方的阴极框架的杆件上;位于下方的阴极框架的杆件上设置有通孔,则阴极线的下端穿过通孔。
5.根据权利要求1或4所述的蜂窝结构低温等离子体发生装置,其特征在于,所述绝缘子固定于阴极框架的端部,绝缘子安装在绝缘子室内部,绝缘子室固定于基架。
6.根据权利要求5所述的蜂窝结构低温等离子体发生装置,其特征在于,所述绝缘子室内还设置有具有加热功能的热风吹扫装置。
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