[发明专利]一种提高电弧等离子体发生器运行稳定性和寿命的方法和装置在审
申请号: | 201511017423.5 | 申请日: | 2015-12-29 |
公开(公告)号: | CN105491775A | 公开(公告)日: | 2016-04-13 |
发明(设计)人: | 潘文霞;吴承康;孟显 | 申请(专利权)人: | 中国科学院力学研究所 |
主分类号: | H05H1/34 | 分类号: | H05H1/34 |
代理公司: | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人: | 胡剑辉 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 提高 电弧 等离子体 发生器 运行 稳定性 寿命 方法 装置 | ||
1.一种提高电弧等离子体发生器运行稳定性和寿命的方法,其特征在 于,包括如下步骤:
第一步,对电弧等离子体发生器的阳极进行表面镀膜处理,用于影响电 弧贴附于电极表面的贴附反应能或分散微化贴附点,从而降低电极烧蚀;
第二步,外电压激发阴极和阳极间产生电弧,所述电弧沿阴极到阳极方 向传输;
第三步,所述电弧贴附进行过表面处理的阳极,电弧对阳极烧蚀减弱。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:表面镀膜处理采用离子 镀、磁控对靶溅射或热喷涂的方法。
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述表面镀膜处理为在 阳极表面制备高反应活性材料分散嵌入的复合材料涂层。
4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,所述复合材料涂层为含 铝、钛、锆、镁膜及其氧化物混合膜、多层多混合结构复合膜或过渡结构膜。
5.根据权利要求3或4所述的方法,其特征在于:所述复合材料涂层 为电导体,使在涂层内形成由自由表面连接电极基体的导电微通道。
6.一种提高运行稳定性的电弧等离子体发生器,其特征在于,包括:
阴极;
阳极,设置在所述阴极电弧传输方向下游;
涂层,附着在所述阳极表面,使阳极具有特定表面结构;
绝缘件,所述绝缘件两端分别连接所述阴极和阳极;
外套管,包裹所述绝缘件和所述阳极连接组合体。
7.根据权利要求6所述的电弧等离子体发生器,其特征在于,还包括: 中间段设置在所述阴极和阳极之间。
8.根据权利要求6所述的电弧等离子体发生器,其特征在于,所述涂 层采用离子镀、磁控对靶溅射或热喷涂的方法附着在所述阳极表面。
9.根据权利要求8所述的电弧等离子体发生器,其特征在于,所述涂 层为高反应活性材料分散嵌入的复合材料涂层。
10.根据权利要求9所述的电弧等离子体发生器,其特征在于,所述复 合材料涂层为含铝、钛、锆、镁膜及其氧化物混合膜、多层多混合结构复合 膜及过渡结构膜,并为导电体。
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