[发明专利]一种富含水的光阻残留物清洗液组合物

权利要求书

1.一种富含水的光阻残留物清洗液组合物，其特征在于，所述清洗液含有醇胺、水、溶剂、酚类化合物及表面活性剂。

2.如权利要求1所述的光阻残留物清洗液组合物，其中，所述醇胺为脂肪族的醇胺。

3.如权利要求2所述的光阻残留物清洗液组合物，其中，所述脂肪族的醇胺为单乙醇胺、N-甲基乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、异丙醇胺、N,N-二甲基乙醇胺、N-(2-氨基乙基)乙醇胺和二甘醇胺中的一种或几种。

4.如权利要求1所述的光阻残留物清洗液组合物，其中，所述醇胺含量为10-65wt％。

5.如权利要求4所述的光阻残留物清洗液组合物，其中，所述醇胺含量为10-60wt％。

6.如权利要求1所述的光阻残留物清洗液组合物，其特征在于，所述水为去离子水，蒸馏水，超纯水的一种或几种。

7.如权利要求1所述的光阻残留物清洗液组合物，其中，所述水含量为20-60wt％。

8.如权利要求7所述的光阻残留物清洗液组合物，其中，所述水含量为25-55wt％。

9.如权利要求1所述的光阻残留物清洗液组合物，其特征在于，所述溶剂为亚砜、砜、咪唑烷酮、吡咯烷酮、咪唑啉酮、酰胺和醇醚中的一种或几种。

10.如权利要求9所述的光阻残留物清洗液组合物，其中，所述亚砜为二甲基亚砜；所述砜为环丁砜；所述咪唑烷酮为1，3-二甲基-2-咪唑烷酮；所述吡咯烷酮为N-甲基吡咯烷酮；所述咪唑啉酮为1，3-二甲基-2-咪唑啉酮(DMI)；所述酰胺为N,N-二甲基乙酰胺；所述醇醚类为二元醇醚。

11.如权利要求10所述的光阻残留物清洗液组合物，其中，所述二元醇醚为乙二醇甲醚，乙二醇乙醚，乙二醇丁醚，二乙二醇甲醚，三乙二醇丁醚，丙二醇丁醚，丙二醇甲醚，二丙二醇甲醚、二丙二醇丁醚和丙二醇丁醚中的一种或几种。

12.如权利要求1所述的光阻残留物清洗液组合物，其中，所述溶剂含量为10-50wt％。

13.如权利要求12所述的光阻残留物清洗液组合物，其中，所述溶剂含量为10-40wt％。

14.如权利要求1所述的光阻残留物清洗液组合物，其中，所述酚类化合物为邻苯二酚、对苯二酚、间苯二酚、联苯三酚、3-甲基邻苯二酚、4-苯乙基-1,3-苯二酚、4-叔丁基邻苯二酚、1,8-蒽醌二酚、5-(羟甲基)-1,3-苯二酚、5-甲基连苯三酚、4-苯甲基焦酚、5-甲氧基邻苯三酚、5-叔丁基邻苯三酚、5-羟甲基邻苯三酚中的一种或几种。

15.如权利要求1所述的光阻残留物清洗液组合物，其中，所述酚类化合物含量为0.5-15wt％。

16.如权利要求15所述的光阻残留物清洗液组合物，其中，所述酚类化合物含量为0.5-10wt％。

17.如权利要求1所述的光阻残留物清洗液组合物，其中，所述表面活性剂为聚乙二醇类、聚氧乙烯醚类表面活性剂。

18.如权利要求17所述的光阻残留物清洗液组合物，其中，所述聚乙二醇类为PEG200、PEG400、PEG1000、PEG100MS的一种或几种；所述聚氧乙烯醚类为AEO-3、AEO-7、AEO-9、AEO-10、AEO-15、JFC、JFC-1、JFC-2、JFC-E、OP-4、OP-15、OP-30、NP-10、NP-21、TWEEN-20、TWEEN-65、TWEEN-80中的一种或几种。

19.如权利要求1所述的光阻残留物清洗液组合物，其中，所述表面活性剂含量为0.1-3wt％。

20.如权利要求19所述的光阻残留物清洗液组合物，其中，所述表面活性剂 含量0.1-2wt％。