[发明专利]一种光刻机的快门叶片

权利要求书

1.一种光刻机的快门叶片，用于光刻机的曝光系统中，其特征在于，所述快门叶片接受光源照射的一面设有用于增大照射光的反射光线与水平线的夹角的光路转换件；

所述光路转换件为若干环形凹槽，所述环形凹槽底面设有V形或倒V形斜坡；或者，所述光路转换件为若干条形凹槽，所述条形凹槽底面设有V形或倒V形斜坡；或者，所述光路转换件为若干球形凸起，使照射在快门叶片表面的光线在经快门叶片反射后远离灯室的保护玻璃。

2.根据权利要求1所述的光刻机的快门叶片，其特征在于，所述快门叶片接受光源照射的一面镀有金属膜。

3.根据权利要求1所述的光刻机的快门叶片，其特征在于，所述环形凹槽采用成型铣刀加工而成。

4.根据权利要求1所述的光刻机的快门叶片，其特征在于，所述若干环形凹槽与所述快门叶片同心设置。

5.根据权利要求1所述的光刻机的快门叶片，其特征在于，所述若干条形凹槽平行设置。

6.根据权利要求1所述的光刻机的快门叶片，其特征在于，所述条形凹槽采用成型铣刀加工而成。

7.根据权利要求1所述的光刻机的快门叶片，其特征在于，所述环形凹槽底面的所述V形或倒V形斜坡的倾斜面与水平线的夹角的范围为：60°~75°；所述条形凹槽底面的所述V形或倒V形斜坡的倾斜面与水平线的夹角的范围为：60°~75°。

8.根据权利要求1所述的光刻机的快门叶片，其特征在于，所述球形凸起由所述快门叶片经过冲压而成。