[发明专利]MEMS加速度传感器性能参数标定方法、处理器及系统

权利要求书

1.一种MEMS加速度传感器性能参数标定方法，其特征在于，所述方法包括：

驱动闭环控制转动平台控制待测MEMS加速度传感器实现重力场下的360度转动多点定位，获得所述待测MEMS加速度传感器的输入轴加速度、输出轴加速度、摆轴加速度和实际输出量；

利用获得的所述输入轴加速度、所述输出轴加速度、所述摆轴加速度，以及所述待测MEMS加速度传感器的预设模型方程，获得所述待测MEMS加速度传感器的期望输出量，所述预设模型方程为：

a＝Ep/K1＝K0+ai+K2ai2+K3ai3+Koap-Kpao+Kipaiap+Kioaiao；

其中：a表示所述待测MEMS加速度传感器所标示的加速度值；Ep表示所述待测MEMS加速度传感器的输出量；ai表示平行于输入基准轴的外加加速度；ap表示垂直于所述输入基准轴的外加加速度；ao表示所述待测MEMS加速度传感器摆轴方向的外加加速度；K0表示所述待测MEMS加速度传感器的偏值；K1表示所述待测MEMS加速度传感器的标度因数；K2表示所述待测MEMS加速度传感器的二次非线性系数；K3表示所述待测MEMS加速度传感器的三次非线性系数；Ko表示所述待测MEMS加速度传感器输出量的变化与输出轴加速度之间关系的比例常数；Kp表示所述待测MEMS加速度传感器输出量的变化与摆轴加速度之间关系的比例常数；Kip表示所述待测MEMS加速度传感器的输入轴与输出轴的交叉耦合系数；Kio表示所述待测MEMS加速度传感器的输入轴与摆轴的交叉耦合系数；

对所述待测MEMS加速度传感器的所述实际输出量和期望输出量进行最小二乘法拟合运算，获得所述待测MEMS加速度传感器的各项模型参数；

其中，所述模型参数中所述待测MEMS加速度传感器的偏值和标度因数中均不包含所述待测MEMS加速度传感器的二次非线性系数、三次非线性系数、交叉耦合灵敏度和交叉耦合系数。