[发明专利]一种大功率电子回旋共振加热系统快速可控极化器

权利要求书

1.一种大功率电子回旋共振加热系统快速可控极化器，其特征在于，该极化器包括：微波换向弯头(1)，安装基板(2)，极化镜(3)，极化镜转动机构和转动驱动机构；

微波换向弯头(1)与电子回旋传输系统相连，用于传输高功率微波，实现微波传输方向90度换向；

安装基板(2)设置在微波换向弯头(1)上，用于将极化镜(3)、极化镜转动机构和转动驱动机构设置在微波换向弯头(1)上；

极化镜转动机构用于实现真空环境下极化镜(3)的转动；

转动驱动机构用于实现对极化镜(3)旋转的精确定位控制及保护；

所述安装基板(2)中心开孔，安装基板(2)与微波换向弯头(1)通过螺钉连接，安装基板(2)与微波换向弯头(1)之间设置静密封O型圈(4)实现真空密封；

所述极化镜转动机构包括支撑轴承(6)、轴承座(7)和旋转轴(8)；轴承座(7)为阶梯型圆筒结构，旋转轴(8)穿过轴承座(7)，并在旋转轴(8)与轴承座(7)上段之间设置支撑轴承(6)，旋转轴(8)下段与轴承座(7)之间设置多级动密封O型圈(5)，轴承座(7)下端固定在安装基板(2)。

2.根据权利要求1所述的大功率电子回旋共振加热系统快速可控极化器，其特征在于，

所述微波换向弯头(1)为一体式换向弯头；所述微波换向弯头(1)内壁为光滑曲面。

3.根据权利要求1或2所述的大功率电子回旋共振加热系统快速可控极化器，其特征在于，

所述微波换向弯头(1)硬铝材料加工。

4.根据权利要求1所述的大功率电子回旋共振加热系统快速可控极化器，其特征在于，

所述微波换向弯头(1)通过连接法兰与电子回旋传输系统对接，两者之间设置静密封O型圈(4)实现真空密封。

5.根据权利要求1所述的大功率电子回旋共振加热系统快速可控极化器，其特征在于，

所述轴承座(7)与安装基板(2)通过螺钉连接，轴承座(7)与安装基板(2)之间设置静密封O型圈(4)实现真空密封。

6.根据权利要求1所述的大功率电子回旋共振加热系统快速可控极化器，其特征在于，

所述转动驱动机构包括旋转平台(9)、联轴器(10)、电机(11)、涡轮(13)和蜗杆(14)；电机(11)通过联轴器(10)驱动蜗杆(14)转动，蜗杆(14)带动涡轮(13)转动，涡轮(13)带动旋转平台(9)转动，旋转平台(9)带动旋转轴(8)转动，旋转轴(8)带动极化镜(3)转动。

7.根据权利要求6所述的大功率电子回旋共振加热系统快速可控极化器，其特征在于，

所述转动驱动机构还包括应急手动调节装置(12)、应急手动调节装置(12)设置在电机(11)上，保证在停电及控制故障情况下实现电机(11)的应急制动保护。

8.根据权利要求6所述的大功率电子回旋共振加热系统快速可控极化器，其特征在于，

所述旋转平台(9)包括上盖板和外套筒，外套筒套在轴承座(7)外，上端盖中心开非圆形孔，上盖板盖合在外套筒上，旋转平台(9)与轴承座(7)间隙配合，旋转平台(9)绕轴承座(7)旋转；旋转轴(8)上部与旋转平台(9)上盖板的中心非圆形孔配合。

9.根据权利要求1所述的大功率电子回旋共振加热系统快速可控极化器，其特征在于，

所述极化镜(3)位于安装基板(2)与微波换向弯头(1)形成的空腔中，极化镜(3)镜面朝向微波入口，且与微波入射方向呈45度夹角，旋转轴(8)为阶梯圆柱结构，旋转轴(8)下端穿过安装基板(2)的中心开孔与极化镜(3)背面连接，安装基板(2)的中心开孔半径小于极化镜(3)半径。

10.根据权利要求1所述的大功率电子回旋共振加热系统快速可控极化器，其特征在于，

所述极化镜(3)为衍射光栅极化镜，用于反射微波，并在极化镜(3)旋转时实现微波极化形式的改变。