[发明专利]低温多晶硅薄膜晶体管用玻璃基板的组合物、玻璃基板及制备方法和应用有效
| 申请号： | 201511023699.4 | 申请日： | 2015-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN105502931B | 公开（公告）日： | 2018-12-25 |
| 发明（设计）人： | 李俊锋;胡恒广;王丽红;闫冬成;张广涛 | 申请（专利权）人： | 芜湖东旭光电装备技术有限公司;东旭科技集团有限公司;东旭集团有限公司 |
| 主分类号： | C03C3/093 | 分类号： | C03C3/093 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 严政;刘兵 |
| 地址： | 241000 安徽省芜*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 低温 多晶 薄膜 晶体 管用 玻璃 组合 制备 方法 应用 | ||
1.一种玻璃基板，所述玻璃基板的厚度为0.3mm～0.7mm，所述玻璃基板在600℃下15min热处理后的热收缩率为13.8ppm～18.3ppm；所述玻璃基板的应变点为725～749℃；所述玻璃基板的膨胀系数为31.3×10-7/℃～35.9×10-7/℃；所述玻璃基板的弹性模量为81.2GPa～83.9GPa；
该玻璃基板由以下组合物制得：以该组合物的总重量为基准，该组合物包括60～70重量％的SiO2，6～9重量％的Al2O3，8～10.1重量％的B2O3，5～10重量％的MgO，3～8重量％的CaO，2～4.5重量％的SrO，1～2.8重量％的ZrO2和0.5～1.5重量％的SnO2。
2.根据权利要求1所述的玻璃基板，其中，所述玻璃基板的密度为2.39g/cm3～2.45g/cm3。
3.根据权利要求1所述的玻璃基板，其中，所述玻璃基板的应变点为650℃以上；所述玻璃基板的熔化温度为1597～1624℃；所述玻璃基板的液相线温度为1097～1127℃。
4.根据权利要求1所述的玻璃基板，其中，所述玻璃基板的透过率为91.6～93.2％。
5.根据权利要求1所述的玻璃基板，其中，所述玻璃基板的维氏硬度HV为663～682。
6.一种权利要求1所述的玻璃基板的制备方法，包括将权利要求1中的组合物依次进行高温熔融、搅拌、浇注成型和退火；所述高温熔融的方式为在1600～1640℃下保温8～12h；所述退火的方式为700～800℃下保温1～24h。
7.一种权利要求1-5中任意一项所述的玻璃基板用作液晶显示器或平面显示器的基板的应用。
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