[发明专利]应用于红外敏感元件的红外滤光片有效
申请号: | 201511024957.0 | 申请日: | 2015-12-30 |
公开(公告)号: | CN105589121A | 公开(公告)日: | 2016-05-18 |
发明(设计)人: | 王继平;吕晶;胡伟琴 | 申请(专利权)人: | 杭州麦乐克电子科技有限公司 |
主分类号: | G02B5/20 | 分类号: | G02B5/20 |
代理公司: | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人: | 周豪靖 |
地址: | 311188 浙江省杭州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 应用于 红外 敏感 元件 滤光 | ||
【权利要求书】:
1.一种应用于红外敏感元件的红外滤光片,包括成分为Si单晶硅的基板(2)以 及分别位于基板两侧面的第一镀膜层(1)和第二镀膜层(3),其特征是所述第 一镀膜层(1)包含从内向外依次排列的厚度为110纳米的Ge层、厚度为319 纳米的ZnS层、厚度为149纳米的Ge层、厚度为583纳米的ZnS层、厚度为 1000纳米的YF3层、厚度为239纳米的ZnS层、所述第二镀膜层(3)是厚度为 1100纳米的C层。
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