[发明专利]一种脉冲展宽装置、脉冲展宽激光退火装置及退火方法

权利要求书

1.一种脉冲展宽装置，其特征在于，包括

分光镜组件，用于将激光束分为不同光束；

光线延迟单元，用于延长所述光束的路径；

光束整合组件，用于整合光束，使不同光束路线重合；

所述分光镜组件、所述光线延迟单元和所述光束整合组件数量相同；

所述分光镜组件将入射光分为不同光束，所述光线延迟单元延长其中一束所述光束的路径；所述光束整合组件整合路径被延长的光束和路径未被延长的光束，使路径被延长的光束与路径未被延长的光束路线重合。

2.如权利要求1所述的脉冲展宽装置，其特征在于，所述分光镜组件包括第一分光镜组件，第二分光镜组件和第三分光镜组件；所述光线延迟单元包括第一光线延迟单元，第二光线延迟单元、第三光线延迟单元；所述光束整合组件包括第一光束整合组件、第二光束整合组件和第三光束整合组件。

3.如权利要求2所述的脉冲展宽装置，其特征在于，所述第一分光镜组件的分光比为3：1。

4.如权利要求2所述的脉冲展宽装置，其特征在于，第二分光镜组件的分光比为2：1。

5.如权利要求2所述的脉冲展宽装置，其特征在于，第三分光镜组件的分光比为1：1。

6.如权利要求1所述的脉冲展宽装置，其特征在于，所述光线延迟单元包括第一反射镜和第二反射镜，所述第一反射镜和所述第二反射镜相互平行并且镜面相对设置，所述第一反射镜和所述第二反射镜之间的距离可调。

7.如权利要求6所述的脉冲展宽装置，其特征在于，所述第一反射镜 和所述第二反射镜均是整体结构的反射镜。

8.如权利要求6所述的脉冲展宽装置，其特征在于，所述光线延迟单元还包括两个相互平行并且相对放置的导轨，所述第一反射镜和所述第二反射镜均是由若干个安装在所述导轨上第三反射镜组成。

9.如权利要求8所述的脉冲展宽装置，其特征在于，所述第三反射镜与所述导轨滑动连接。

10.如权利要求8所述的脉冲展宽装置，其特征在于，所述第三反射镜与所述导轨固定连接。

11.如权利要求6至10任一项所述的脉冲展宽装置，其特征在于，所述光线延迟单元还包括与所述第一反射镜和所述第二反射镜垂直的并且位置可调的第四反射镜。

12.一种脉冲展宽激光退火装置，包括激光光源、准直扩束单元、匀光器、聚焦单元和工件台，其特征在于，还包括权利要求1～11任一项所述的脉冲展宽装置，用于脉冲展宽激光束。

13.如权利要求12所述的脉冲展宽激光退火装置，其特征在于，所述激光光源发出的激光束为脉冲激光。

14.如权利要求13所述的脉冲展宽激光退火装置，其特征在于，所述脉冲激光是红外激光、可见激光或者紫外激光。

15.采用权利要求12～14任一项所述的脉冲展宽激光退火装置的退火方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一：所述激光光源发出激光束，所述脉冲展宽装置对所述激光束脉冲展宽；

步骤二：通过准直扩束单元、匀光单元和聚焦单元对所述激光束进行整形聚焦；

步骤三：经过整形聚焦的激光束入射硅片，对所述硅片进行退火。