[发明专利]一种暗场照明装置及表面缺陷检测装置有效
申请号: | 201511025773.6 | 申请日: | 2015-12-30 |
公开(公告)号: | CN106932399B | 公开(公告)日: | 2020-02-18 |
发明(设计)人: | 梁海亮 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 暗场 照明 装置 表面 缺陷 检测 | ||
1.一种暗场照明装置,其特征在于,包括光源、光传导匀化结构、固定件及装置固定架,所述光传导匀化结构包括入射端、传导段和若干出射端,所述光源发出的光入射到所述入射端端面,经所述传导段后从若干所述出射端倾斜于待测试平面射出,若干所述出射端构成环形,并通过所述固定件固定在所述装置固定架上,所述光传导匀化结构为一体式注塑结构;所述光传导匀化结构采用聚碳酸酯材料或有机玻璃。
2.根据权利要求1所述的暗场照明装置,其特征在于,所述光在所述传导段内进行全反射。
3.根据权利要求1所述的暗场照明装置,其特征在于,所述入射端为端面是多边形的柱状结构。
4.根据权利要求1所述的暗场照明装置,其特征在于,所述出射端为长方体结构。
5.根据权利要求1所述的暗场照明装置,其特征在于,所述固定件的数量与所述出射端的数量一致,每个所述固定件固定一个所述出射端后排布在一起形成环形。
6.根据权利要求1所述的暗场照明装置,其特征在于,若干所述出射端注塑成一体式环形结构,所述固定件为与所述一体式环形结构匹配的环形固定件。
7.根据权利要求1所述的暗场照明装置,其特征在于,所述入射端的数量不少于2个,所述入射端连接的出射端组合后构成环形。
8.根据权利要求7所述的暗场照明装置,其特征在于,每个所述入射端对应的光源均相同。
9.一种表面缺陷检测装置,其特征在于,包括权利要求1至8中任何一项所述的暗场照明装置。
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