[发明专利]一种暗场照明装置及表面缺陷检测装置有效

专利信息
申请号: 201511025773.6 申请日: 2015-12-30
公开(公告)号: CN106932399B 公开(公告)日: 2020-02-18
发明(设计)人: 梁海亮 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: G01N21/88 分类号: G01N21/88
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 201203 上*** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 暗场 照明 装置 表面 缺陷 检测
【权利要求书】:

1.一种暗场照明装置,其特征在于,包括光源、光传导匀化结构、固定件及装置固定架,所述光传导匀化结构包括入射端、传导段和若干出射端,所述光源发出的光入射到所述入射端端面,经所述传导段后从若干所述出射端倾斜于待测试平面射出,若干所述出射端构成环形,并通过所述固定件固定在所述装置固定架上,所述光传导匀化结构为一体式注塑结构;所述光传导匀化结构采用聚碳酸酯材料或有机玻璃。

2.根据权利要求1所述的暗场照明装置,其特征在于,所述光在所述传导段内进行全反射。

3.根据权利要求1所述的暗场照明装置,其特征在于,所述入射端为端面是多边形的柱状结构。

4.根据权利要求1所述的暗场照明装置,其特征在于,所述出射端为长方体结构。

5.根据权利要求1所述的暗场照明装置,其特征在于,所述固定件的数量与所述出射端的数量一致,每个所述固定件固定一个所述出射端后排布在一起形成环形。

6.根据权利要求1所述的暗场照明装置,其特征在于,若干所述出射端注塑成一体式环形结构,所述固定件为与所述一体式环形结构匹配的环形固定件。

7.根据权利要求1所述的暗场照明装置,其特征在于,所述入射端的数量不少于2个,所述入射端连接的出射端组合后构成环形。

8.根据权利要求7所述的暗场照明装置,其特征在于,每个所述入射端对应的光源均相同。

9.一种表面缺陷检测装置,其特征在于,包括权利要求1至8中任何一项所述的暗场照明装置。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司,未经上海微电子装备(集团)股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201511025773.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top