[发明专利]一种键合机加热冷却装置及其制作方法有效
申请号: | 201511025791.4 | 申请日: | 2015-12-30 |
公开(公告)号: | CN106925867B | 公开(公告)日: | 2019-09-17 |
发明(设计)人: | 赵建军 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | B23P15/00 | 分类号: | B23P15/00;B23K9/16;B23K35/30;B81C3/00 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 加热丝 冷却管 底板 加热冷却装置 焊接层 键合机 减小 均匀焊接 外部加热装置 外部冷却装置 真空泵抽真空 真空腔体空间 微机电系统 压力均匀性 传热路径 冷却效率 焊接槽 平面度 真空泵 键合 制作 焊接 制造 改进 | ||
1.一种键合机加热冷却装置的制作方法,所述键合机加热冷却装置,包括加热丝底板、冷却管底板、加热丝、冷却管及焊接层,所述加热丝和冷却管分别焊接在加热丝底板和冷却管底板的焊接槽内,并通过焊接层均匀焊接在一起,所述加热丝与外部加热装置连接,所述冷却管与外部冷却装置连接,其特征在于,步骤为:
步骤1、将加热丝、冷却管分别放置到加热丝底板和冷却管底板的焊接槽内,焊接固定;
步骤2、在加热丝焊接面和冷却管焊接面之间填充真空焊剂,将两个焊接面的外圈焊接并留有小孔;
步骤3、在真空设备中进行加热使真空焊剂熔化,同时对真空设备抽真空,压合使真空焊剂均匀覆盖到加热丝和冷却管之间,去净两个焊接面的空气,然后将所述小孔完全焊接封闭;
步骤4、对键合机加热冷却装置的上下两个表面进行精加工。
2.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,步骤1中采用氩弧焊将加热丝点焊固定在加热丝底板的焊接槽内,采用氩弧焊将冷却管点焊固定在冷却管底板的焊接槽内。
3.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,步骤2中采用氩弧焊将两个焊接面的外圈焊接。
4.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,步骤2中所述小孔为2个。
5.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,步骤3中加热温度为1000~1040℃。
6.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,步骤3中加热时间为0.5小时。
7.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,步骤3中通过压合使真空焊剂均匀覆盖到加热丝和冷却管之间的步骤中,多余的真空焊剂从所述小孔中溢出。
8.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,步骤4中采用铣床对键合机加热冷却装置的上下两个表面进行精加工。
9.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述真空焊剂为镍基材料。
10.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述键合机加热冷却装置,所述外部加热装置为电热器。
11.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述键合机加热冷却装置,所述外部冷却装置中冷却物质为冷却剂。
12.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述键合机加热冷却装置,所述加热丝和/或冷却管为均匀螺旋结构。
13.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述键合机加热冷却装置,所述焊接层材料为真空焊剂。
14.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述键合机加热冷却装置,所述键合机加热冷却装置的厚度为22mm~25mm。
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