[发明专利]一种光刻机物镜冷却装置

权利要求书

1.一种光刻机物镜冷却装置，包括水套和恒温水箱，其特征在于，所述水套上开设有若干个与物镜镜筒匹配的腔体，各所述腔体的周围均匀开设有若干个沿所述腔体的轴向设置的孔，所述孔内设置有与所述恒温水箱连通的冷却水管，每两个相邻的所述冷却水管底部连通，连通的两个所述冷却水管的其中一个作为进水管，另一个作为出水管。

2.如权利要求1所述的一种光刻机物镜冷却装置，其特征在于，每两个相邻的所述冷却水管在底部用U形管连通。

3.如权利要求2所述的一种光刻机物镜冷却装置，其特征在于，所述U形管上涂覆有隔热材料。

4.如权利要求1所述的一种光刻机物镜冷却装置，其特征在于，所述水套与所述冷却水管之间填充有导热胶。

5.如权利要求1所述的一种光刻机物镜冷却装置，其特征在于，所述水套与所述物镜镜筒之间填充有导热胶。

6.如权利要求1所述的一种光刻机物镜冷却装置，其特征在于，所述水套的外表面上涂覆有隔热材料。

7.如权利要求1所述的一种光刻机物镜冷却装置，其特征在于，所述水套为铝或不锈钢材料。

8.如权利要求1所述的一种光刻机物镜冷却装置，其特征在于，各所述冷却水管之间并联连接至所述恒温水箱。

9.如权利要求1所述的一种光刻机物镜冷却装置，其特征在于，所述水套为矩形。

10.如权利要求1所述的一种光刻机物镜冷却装置，其特征在于，所述腔体呈矩阵形式分布在所述水套上。