[发明专利]一种光刻机同步控制系统及方法

权利要求书

1.一种光刻机同步控制系统，其特征在于，包括干涉仪分系统和外部分系统，所述外部分系统包括工件台掩模台分系统、对准分系统和照明分系统，所述干涉仪分系统包括通过同步总线连接的同步控制卡、多通道光纤卡及干涉仪计数卡，所述同步控制卡通过外同步通道分别与工件台掩模台分系统、对准分系统和照明分系统连接；所述多通道光纤卡通过光纤通道分别与工件台掩模台分系统、对准分系统和照明分系统连接。

2.根据权利要求1所述的光刻机同步控制系统，其特征在于，所述外部分系统通过内同步通道实现所述外部分系统的内部同步控制。

3.根据权利要求1所述的光刻机同步控制系统，其特征在于，所述同步总线采用具有数据同步广播功能的数据总线。

4.根据权利要求1所述的光刻机同步控制系统，其特征在于，所述同步总线采用自定义同步总线。

5.根据权利要求1所述的光刻机同步控制系统，其特征在于，所述同步总线采用VME总线，所述同步控制卡、多通道光纤卡和干涉仪计数卡设置在VME机箱中。

6.根据权利要求1所述的光刻机同步控制系统，其特征在于，所述外同步通道采用具有同步状态传输功能的数据总线。

7.根据权利要求1所述的光刻机同步控制系统，其特征在于，所述外同步通道采用外部同步总线。

8.根据权利要求1所述的光刻机同步控制系统，其特征在于，所述外同步通道采用自定义同步总线。

9.根据权利要求1所述的光刻机同步控制系统，其特征在于，所述干涉仪分系统还包括干涉仪分系统CPU卡，所述干涉仪分系统CPU卡通过控制总线与所述同步控制卡、多通道光纤卡及干涉仪计数卡连接。

10.根据权利要求9所述的光刻机同步控制系统，其特征在于，所述控制总线采用标准总线。

11.根据权利要求9所述的光刻机同步控制系统，其特征在于，所述控制总线采用PCI、VME、Compact PCI、VXI、PXI、PCIe、SRIO或以太网标准总线。

12.根据权利要求1所述的光刻机同步控制系统，其特征在于，所述同步控制卡包括：

时钟晶振，提供系统时钟信号；

伺服定时器，用于对系统时钟信号进行计数，发出伺服周期触发信号；

同步总线接口控制模块，接收所述伺服周期触发信号，启动同步总线传输协议；

外同步通道控制模块，接收所述伺服周期触发信号，启动外同步通道传输协议。

13.一种光刻机同步控制方法，其特征在于，包括：

干涉仪分系统的同步控制卡通过同步总线连接多通道光纤卡和干涉仪计数卡，对干涉仪分系统进行内同步控制，干涉仪计数卡对多通道光纤卡进行数据同步传输；

所述同步控制卡通过外同步通道分别与外部分系统的工件台掩模台分系统、对准分系统和照明分系统连接，对外部分系统进行外同步控制，所述多通道光纤卡通过光纤通道分别与所述工件台掩模台分系统、对准分系统和照明分系统连接，进行数据同步传输。

14.根据权利要求13所述的光刻机同步控制方法，其特征在于，还包括：干涉仪分系统CPU卡通过干涉仪分系统的控制总线，对干涉仪分系统初始化，设置同步控制使能位，启动所述同步控制卡的伺服同步控制，启动伺服周期。

15.根据权利要求13所述的光刻机同步控制方法，其特征在于，所述同步控制卡通过所述同步总线，对所述多通道光纤卡和干涉仪计数卡广播伺服周期的同步状态，同时向所述外同步通道输出外同步开始信号，所述外部分系统的同步接收模块接收所述外同步开始信号。

16.根据权利要求13所述的光刻机同步控制方法，其特征在于，还包括：所述外部分系统通过内同步通道实现所述外部分系统的内部同步控制，并通过运动控制卡进行所述外部分系统的运动控制。