[发明专利]一种UF6气体检漏取样监测装置及方法

权利要求书

1.一种UF₆气体检漏取样装置，包括：罐本体(1)、进气口(2)、溢流口(3)、排气口(4)、去离子水注入口(5)、有机玻璃窗(6)和电导率测头(7)；其特征在于：

所述罐本体(1)为圆柱形罐体，进气口(2)设置于罐本体(1)的下部，进气口(2)连接至UF₆气化罐的气体取样管路，从UF₆气化罐取样出的气体通过进气口(2)持续进入罐本体(1)中；溢流口(3)设置有罐本体(1)上部，当罐本体(1)内液位过高时，通过溢流口(3)溢流，保证罐本体(1)内的液位维持在合理范围内；排气口(4)设置于罐本体(1)的顶部，用于罐内气体的排出，排气口(4)连接至风管；所述去离子水注入口(5)设置于罐本体(1)的上部，用于向罐内注入去离子水；所述有机玻璃窗(6)设置于罐本体(1)上，有机玻璃窗(6)透明，用于观察罐体内的液位；所述电导率测头(7)设置于罐本体(1)的中部，用于检测罐内液体的电导率。

2.一种使用权利要求1所述UF₆气体检漏取样装置的UF₆气体监测方法，其特征在于：包括以下步骤：

步骤1、气体取样

通过气体取样管路持续从UF₆气化罐内取样气体，并将取样气体鼓送入UF₆气体检漏取样装置内；

步骤2、电导率监测

对UF₆气体检漏取样装置内液体的电导率进行实时监测，若UF₆气体检漏取样装置内液体的电导率在短时内急剧升高，并超过180μs/cm，则判定UF₆气化罐内有UF₆气体溢出，系统发出警报，并停止气体取样，关闭气体取样管路，关闭UF₆气体检漏取样装置向风管内排气的通路，并禁止UF₆气化罐 打开，等待后续处理；

步骤3、定期检查

定期对UF₆气体检漏取样装置内的液位进行检测，若液位低于电导率测头(7)的安装位置，则向UF₆气体检漏取样装置内补充去离子水；定期对电导率进行检查，电导率由于气体杂质的原因会缓慢上升，当电导率较高时需排出UF₆气体检漏取样装置内的液体，重新注入去离子水。