[发明专利]一种硅片分片装置有效
申请号: | 201511029675.X | 申请日: | 2015-12-31 |
公开(公告)号: | CN105489534B | 公开(公告)日: | 2018-08-31 |
发明(设计)人: | 邱文良 | 申请(专利权)人: | 苏州博阳能源设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L31/18 |
代理公司: | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人: | 王华 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅片分片 供料槽 输送带 机构本体 承托平台 分片机构 溢流口 硅片 槽体 连通 抽气装置 间隔设置 储液槽 堆垛 滚轮 盛放 水泵 平行 体内 损害 | ||
一种硅片分片装置,包括分片机构和供料槽;所述分片机构包括硅片分片机构本体,该硅片分片机构本体向下设有两个平行且间隔设置的分片输送带,所述硅片分片机构本体朝向所述分片输送带设有气孔,该气孔通过管路与抽气装置连通;所述分片输送带的输送方向的前端设有滚轮;所述供料槽包括供料槽槽体和水泵,所述供料槽槽体设有溢流口,该溢流口通过管路与一储液槽连通;所述供料槽槽体内设有用以盛放堆垛硅片的承托平台;所述承托平台对应所述分片输送带设置。本发明在分片时,具有分片效率高、对硅片损害小的优点。
技术领域
本发明涉及一种硅片分片装置,属于太阳能电池片制备附属设备领域。
背景技术
21世纪以来,全球能源消费急剧攀升,传统化石能源日益枯竭,能源问题和环境问题逐渐成为全球关注的两大重点问题。迫于可持续发展的压力,各主要国家纷纷将太阳能光伏产业列入可再生能源开发利用的重点。伴随着我国成为世界第二经济体,2013年10月,中国10月石油进口量达到每日630万桶,超过美国的每日624万桶,首次取代美国成为全球最大石油净进口国。2013年,中国石油和天然气的对外依存度分别达到58.1%和31.6%,中国已成为全球第三大天然气消费国。传统化石能源已越来越难以满足我国国民经济的旺盛需求。在过去的20年中全球大约有75%左右的人为二氧化碳排放量来源于化石燃料燃烧。因此,不管是从低碳环保的能源发展角度,还是顺应我国产业结构升级与转型压力,我国必须加快发展新能源产业。
太阳能属于清洁可再生能源。根据欧盟委员会提出的“欧洲可再生能源技术战略计划”,到2020年,太阳能将占欧盟电力需求的15%。2010年,美国能源部制定规划,计划到2030年,太阳能占总能源消费量的10%~15%。从世界范围内的太阳能和潮汐能合计净发电量看,中国为30亿千瓦时,德国为190亿干瓦时,意大利为107亿干瓦时,西班牙为91亿千瓦时,日本为38亿千瓦时。未来我国水电增长空间有限,核能存在不安全因素。化石能源受节能减排约束成本将上升,太阳能光伏发电的市场前景广阔。
单晶硅片的加工包括单晶硅棒先开方,再切片,多晶硅片的加工包括多晶硅锭切割,再切片,准单晶硅片的加工包括准单晶硅锭切割,再切片。总而言之,切片是晶体硅太阳能电池片加工工艺中必不可少的工艺之一。切片后得到的硅片层叠在一起,需要分片后插入硅片承载盒中进行运输,由于硅片具有薄、脆的特点,因此分片、插片的难度很大。
公开号为CN103681968A的发明专利申请,公开了一种硅片自动插片机,其采用吸盘抓取硅片以进行分片、插片,由于吸盘抓取硅片的动作为不连续的操作,因此存在分片效率低的问题。
发明内容
本发明目的是提供一种硅片分片装置。
为达到上述目的,本发明采用的技术方案是:一种硅片分片装置,包括分片机构和供料槽;所述分片机构包括包括硅片分片机构本体,该硅片分片机构本体向下设有两个平行且间隔设置的分片输送带,所述硅片分片机构本体朝向所述分片输送带设有气孔,该气孔通过管路与抽气装置连通;所述分片输送带的输送方向的前端设有滚轮;所述供料槽包括供料槽槽体和水泵,所述供料槽槽体设有溢流口,该溢流口通过管路与一储液槽连通;所述供料槽槽体内设有用以盛放堆垛硅片的承托平台,该承托平台与一上下移动驱动装置的驱动部传动连接;所述供料槽槽体上设有液压传感器,该液压传感器与一计算机数控系统信号连接,所述计算机数控系统与所述水泵电连接;所述供料槽槽体内容纳有液体,液体的深度总是大于堆垛硅片的高度;所述承托平台对应所述分片输送带设置。
优选的技术方案为:所述分片输送带为同步带。
优选的技术方案为:所述同步带套设在主动轮和从动轮上,所述主动轮与驱动装置传动连接。
优选的技术方案为:所述驱动装置为一驱动马达,该驱动马达的输出轴与所述主动轮通过带传动。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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