[发明专利]一种多晶COB封装镜面铝基板的制作方法有效
申请号: | 201511031067.2 | 申请日: | 2015-12-29 |
公开(公告)号: | CN105632940B | 公开(公告)日: | 2018-08-07 |
发明(设计)人: | 蔡清法;王进朝;李强;高鑫;孟凡国 | 申请(专利权)人: | 梅州宝得电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48 |
代理公司: | 广州市越秀区海心联合专利代理事务所(普通合伙) 44295 | 代理人: | 罗振国 |
地址: | 514768 广东省梅州市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多晶 cob 封装 镜面铝基板 制作方法 | ||
本发明公开了一种多晶COB封装镜面铝基板,属于COB封装技术领域,其技术要点包括以下步骤:(1)线路基板的制备;(2)PP半固化片的制备;(3)镜面铝的准备;(4)铆合;(5)排板;(6)压合;(7)外形制作;本发明旨在提供一种工序较为简化、产品良率较高且生产制作成本较低的多晶COB封装镜面铝基板的制作方法;用于制作多晶COB封装镜面铝基板。
技术领域
本发明涉及一种铝基板制备方法,更具体地说,尤其涉及一种多晶COB封装镜面铝基板的制作方法。
背景技术
COB封装即chip On board,就是将裸芯片用导电或非导电胶粘附在互连基板上,然后进行引线键合实现其电气连接。如果裸芯片直接暴露在空气中,易受污染或人为损坏,影响或破坏芯片功能,于是就用胶把芯片和键合引线包封起来。人们也称这种封装形式为软包封。而镜面银铝基板是最适合COB封装的原材料。目前,现有的COB封装镜面铝基板的制作方法,需要胶膜假贴到线路基板后->钻基准孔定位->铣固晶区内模->预固化->再将贴好胶膜的线路基板假贴至镜面铝板上->最后再进行压合工序。存在工序繁琐复杂的缺点。
发明内容
本发明的目的在于针对上述现有技术的不足,提供一种工序较为简化、产品良率较高且生产制作成本较低的多晶COB封装镜面铝基板的制作方法。
本发明的技术方案是这样实现的:一种多晶COB封装镜面铝基板的制作方法,包括以下步骤:(1)线路基板的制备;(2)PP半固化片的制备;(3)镜面铝的准备;(4)铆合;(5)排板;(6)压合;(7)外形制作,其中步骤(2)所述PP半固化片的制备具体为:(a)选材:选用常规FR-4PP或NF-PP的低流胶半固化片;(b)裁剪:将低流胶半固化片按步骤(1)线路基板的尺寸剪切成生产需要的尺寸规格;
(c)固晶区内模图形成型:使用冲床及冲压模具制作裸露图形;裸露的尺寸大于线路板的内模图形,同时制作出定位孔及铆钉孔;
步骤(4)所述铆合具体为:将线路板、PP半固化叠合,并使用热熔机热铆合在一起形成COB板;其铆合参数为:加热温度为180~205℃,加热时间10~30秒。
上述的一种多晶COB封装镜面铝基板的制作方法中:步骤(1)所述线路基板的制备具体为:
(a)开料:将单面覆铜板剪切成生产需要的尺寸规格;
(b)刷板:将覆铜板表面的氧化层及异物抛掉;
(c)涂布感光膜:在覆铜板表面铜箔上均匀涂覆一层感光膜;
(d)预烘:将印好湿膜的覆铜板放置在烘箱中烘烤,温度90~100℃,时间10~15分钟;
(e)曝光:将预先光绘好的线路底片覆盖在预烘后的覆铜板上,用紫外曝光机曝光,能 量设定值为150毫焦;
(f)显影:将一次曝光后的覆铜板经过显影机显影,显影液为重量比1%~3%的无水碳酸钠水溶液,温度为25~35℃,时间为0.5~1分钟;
(g)AOI检验:自动光学检查机检测线路图形的完整性;
(h)蚀刻:用酸性氯化铜蚀刻液将没有被湿膜覆盖的铜层腐蚀掉,保留需要的线路铜箔,蚀刻液的条件:铜含量为120~150g/l,酸量为2~3N,氧化还原电位为300~500mv,温度为40~50℃;
(i)去膜:用浓度为重量比3~5%的氢氧化钠溶液将蚀刻后的线路表面湿膜清除干净;
(j)前处理:可采用刷磨机或喷砂机,将线路基板表面的氧化层抛刷掉;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造