[发明专利]一种化学气相沉积炉用石墨沉积装置

权利要求书

1.一种化学气相沉积炉用石墨沉积装置，其特征在于，包括，

固体原料盛放装置；

置于所述固体原料盛放装置顶部的盖板；所述盖板上设置有气流孔；

具有至少两个以上纵向设置的沉积室的沉积机构；所述沉积机构设置于所述盖板顶部，所述盖板作为沉积机构的底板；

所述沉积室之间设置有隔板，所述隔板上设置有气流孔；

所述盖板上的气流孔与相邻的隔板上的气流孔交错设置；

任意两个相邻隔板上的气流孔交错设置；

位于沉积室上方的收尘室；所述收尘室底部通过收尘通道与最上方的沉积室相连通；

所述收尘通道的横截面积小于收尘室底部的面积。

2.根据权利要求1所述的石墨沉积装置，其特征在于，所述盖板上的气流孔为一个或多个；所述隔板上的气流孔为一个或多个。

3.根据权利要求1所述的石墨沉积装置，其特征在于，所述固体原料盛放装置为石墨坩埚，所述盖板为坩埚盖。

4.根据权利要求1所述的石墨沉积装置，其特征在于，所述收尘室上方还设置有导尘通道。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述沉积室所生产的毛坯产品的厚度差值为0.1~1mm。

6.一种化学气相沉积炉，其特征在于，包括权利要求1~5任意一项所述的石墨沉积装置。

7.一种化学气相沉积系统，其特征在于，包括权利要求6所述的化学气相沉积炉、多级收尘系统和尾气处理装置。