[发明专利]通过喷射工艺在光学有源器件之上形成微透镜的方法

权利要求书

1.一种制造光学装置的方法，包括：

在基板内形成有源器件；以及

喷射微透镜材料以在有源器件之上形成微透镜，使得有源器件能够经由微透镜接收或者发射光信号。

2.如权利要求1所述的方法，其中喷射微透镜材料包括操作喷墨式印刷机以喷射该微透镜材料。

3.如权利要求1所述的方法，其中有源器件包括光电二极管。

4.如权利要求1所述的方法，其中有源器件包括垂直腔面发射激光器(VCSEL)。

5.如权利要求1所述的方法，进一步包括在微透镜和有源器件之间形成表面活性剂层。

6.如权利要求5所述的方法，其中表面活性剂层形成在有源器件的孔结构之上。

7.如权利要求5所述的方法，其中表面活性剂层包括表面活性剂单分子层。

8.如权利要求5所述的方法，其中表面活性剂层包括全氟辛基三氯硅烷。

9.如权利要求1所述的方法，其中微透镜材料包括杂化聚合物。

10.如权利要求1所述的方法，其中微透镜材料包括溶胶-凝胶材料。

11.如权利要求1所述的方法，其中微透镜材料包括环氧树脂。

12.如权利要求1所述的方法，进一步包括向微透镜材料增加溶剂以实现用于微透镜材料的规定粘性。

13.如权利要求1所述的方法，进一步包括确定待喷射来形成微透镜的微透镜材料的体积。

14.如权利要求1所述的方法，其中形成微透镜包括固化已喷射的微透镜材料。

15.如权利要求14所述的方法，其中固化已喷射的微透镜材料包括：

使已喷射的微透镜材料经受第一烘烤处理；

在第一烘烤处理之后使已喷射的微透镜材料经受紫外线(UV)整片曝光；并且

在UV整片曝光之后使已喷射的微透镜材料经受第二烘烤处理。

16.如权利要求15所述的方法，其中第一烘烤处理包括使已喷射的微透镜材料经受80摄氏度温度大约30分钟。

17.如权利要求15所述的方法，其中第二烘烤处理包括使已喷射的微透镜材料经受150摄氏度温度大约25分钟。

18.一种制造光学装置的方法，包括：

在基板内形成有源器件；

在有源器件之上形成表面活性剂层；

在有源器件之上的表面活性剂层之上喷射微透镜材料；以及

固化已喷射的微透镜材料以在有源器件之上的表面活性剂层之上形成微透镜，使得有源器件能够经由该微透镜接收或者发射光信号。

19.如权利要求18所述的方法，其中：

该表面活性剂层包括全氟辛基三氯硅烷；并且

微透镜材料包括杂化聚合物。

20.如权利要求18所述的方法，其中喷射微透镜材料包括操作喷墨式印刷机以喷射微透镜材料。

21.如权利要求18所述的方法，其中表面活性剂层形成在有源器件的孔结构之上。

22.一种光学装置，包括：

形成在基板内的有源器件；

布置在有源器件之上的表面活性剂层；以及

布置在表面活性剂层和有源器件之上的微透镜，使得有源器件能够经由该微透镜接收或者发射光信号。

23.如权利要求22所述的光学装置，其中表面活性剂层形成在有源器件的孔结构之上。