[发明专利]多级钟表部件的加工

权利要求书

1.一种钟表部件的制造方法，其包括制造具有上表面(15)的钟表部件的至少一个第一金属层(13)的步骤，其中它包括以下步骤：

-E3：通过加工第一金属层(13)的所述上表面(15)，在钟表部件的第一金属层(13)的上表面(15)中形成至少一个腔体(14)；

-E5：通过金属或合金的电镀沉积，形成另一个至少部分地叠加到包括腔体(14)的所述上表面(15)上的第二金属层(23)，第二金属层填充所述的至少一个腔体(14),

其中形成至少一个腔体(14)的步骤(E3)包括生产至少一个不垂直于钟表部件的第一金属层(13)的上表面(15)的侧壁(17)，以便所述的腔体(14)包括在上表面(15)所在的水平面之下的至少一个深度上的平坦的横截面，该横截面比与上表面(15)齐平的开口(19)的横截面大。

2.如权利要求1所述的钟表部件的制造方法，其中所述钟表部件为多级钟表部件。

3.如权利要求1所述的钟表部件的制造方法，其中形成钟表部件的第二金属层(23)的步骤包括以下步骤：

-E4：在包括至少一个腔体(14)的上表面(15)上沉积光致抗蚀剂；

-E4：借助于掩膜曝光光致抗蚀剂并且显影抗蚀剂以便形成第二模(22)，空出来上表面(15)的至少一个腔体(14)；

-E5：沉积电镀的金属或合金到至少一个腔体中并且填充第二模(22)的至少一部分高度。

4.如权利要求1至3中任一项所述的钟表部件的制造方法，其中第二金属层(23)被形成超过第一金属层(13)的上表面(15)以及腔体(14)上方至大于或等于10微米的高度。

5.如权利要求1至3中任一项所述的钟表部件的制造方法，其中形成至少一个腔体(14)的步骤(E3)包括形成至少一个盲孔，其具有小于或等于金属层(13)的高度的90％的深度。

6.如权利要求1至3中任一项所述的钟表部件的制造方法，其中形成至少一个腔体(14)的步骤(E3)包括生产倾斜的侧壁(17)，从而腔体(14)的平坦横截面随着它在第一金属层(13)的上表面(15)下方的深度的增加而增大。

7.如权利要求6所述的钟表部件的制造方法，其中腔体(14)在垂直于所述部件的上表面(15)的平面上形成燕尾形状的横截面。

8.如权利要求1至3中任一项所述的钟表部件的制造方法，其中加工至少一个腔体(14)的步骤(E3)包括机械加工的步骤、或激光消融、或化学加工、或超声加工、或电火花加工、或通过在电介质中放电的局部加工。

9.如权利要求8所述的钟表部件的制造方法，其中所述机械加工的步骤为铣削和/或钻孔。

10.如权利要求3所述的钟表部件的制造方法，其中其包括以下步骤：

-E1：沉积光致抗蚀剂到基底(10)或单层或多层结构的表面上；

-E1：借助于掩膜曝光光致抗蚀剂以及显影抗蚀剂以便形成第一模(12)；

-E2：沉积电镀的金属或合金到第一模(12)中以便形成具有上表面(15)的第一金属层(13)；

-E3：在第一金属层(13)的上表面(15)上形成至少一个腔体(14)；

-E4：在第一金属层的包括所述至少一个腔体(14)的上表面(15)上沉积光致抗蚀剂；

-E4：借助于掩膜曝光光致抗蚀剂以及显影抗蚀剂以便形成第二模(22)，空出来第一金属层(13)的上表面(15)的至少一个腔体(14)；

-E5：在至少一个腔体(14)和新的第二模(22)中沉积电镀的金属或合金。

11.如权利要求10所述的钟表部件的制造方法，其中能够重复上述E1至E5的步骤。