[实用新型]一种太阳能电池片制备系统

权利要求书

1.一种太阳能电池片制备系统，由电池片制绒抛光装置、清洗装置、氧化装置、扩散装置、刻蚀装置、PECVD装置、金属化装置依次连接组成，其特征在于：所述电池片制绒抛光装置包括依次连接的初步制绒槽、第一水槽、混酸清洗槽、第二水槽、抛光槽、第三水槽、制绒槽和第四水槽，以及设于各槽上方用于托送硅片的下滚轮；

所述初步制绒槽用于盛放初步制绒溶液，其上方设有用于下压硅片的上滚轮，在上滚轮和下滚轮的作用下，硅片从所述初步制绒溶液中穿过并进行初步制绒，去除损伤层；

所述混酸清洗槽用于盛放清洗溶液，其上方设有用于下压硅片的上滚轮，在上滚轮和下滚轮的作用下，硅片从所述清洗溶液中穿过并去除杂质离子；

所述抛光槽用于盛放抛光溶液，其上方设有与该抛光槽连接的水刀，所述抛光溶液通过水刀喷洒在硅片上表面进行抛光，硅片下表面不接触抛光溶液；

所述制绒槽用于盛放制绒溶液，硅片在所述制绒溶液液面上进行下表面制绒，硅片上表面不接触制绒溶液。

2.如权利要求1所述的太阳能电池片制备系统，其特征在于：所述初步制绒槽盛放的初步制绒溶液为HF和HNO₃的混合溶液。

3.如权利要求1所述的太阳能电池片制备系统，其特征在于：所述混酸清洗槽盛放的清洗溶液为HF和HCL的混合溶液。

4.如权利要求1所述的太阳能电池片制备系统，其特征在于：所述抛光槽盛放的抛光溶液为KOH溶液或HF和HNO ₃的溶混合液。

5.如权利要求1所述的太阳能电池片制备系统，其特征在于：所述制绒槽盛放的制绒溶液为AgNO₃、H₂O₂和HF的混合溶液。

6.如权利要求1所述的太阳能电池片制备系统，其特征在于：所述水槽上方设有连接到该水槽的水刀。

7.如权利要求1所述的太阳能电池片制备系统，其特征在于：所述初步制绒槽、混酸清洗槽、抛光槽、制绒槽内均设有浓度检测装置。

8.如权利要求1所述的太阳能电池片制备系统，其特征在于：所述太阳能电池片制备系统还包括化学药液添加盒。

9.如权利要求8所述的太阳能电池片制备系统，其特征在于：所述化学药液添加盒包括初步制绒溶液添加盒、清洗溶液添加盒、抛光溶液添加盒、黑硅制绒溶液添加盒。