[实用新型]探漏装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体生产中侦测漏液的装置，具体涉及一种探漏装置。

背景技术

在工厂有时会发生从生产线的制造装置、或者向该制造装置供给液体的配管漏液的情况。来自于所述制造装置或配管的漏液会导致工厂设施的破损和制品不良，特别是在半导体生产线上，来自于制造装置或配管的漏液导致工厂设施的破损和制品不良的可能性较高。于是，在工厂的制造装置或配管上设置侦测来自于制造装置或配管的漏液的设备。

目前针对于侦测漏液的设备均为固定被动式，只有当液体流至传感器(Sensor)或传感器感应范围时，才有报警信号输出。这种侦测模式适用于大范围的监测，但是无法满足于人为主观的去寻找和侦测漏源。

在对侦测漏液的设备的使用过程中发现，当安装在高架下方或者狭小空间内的漏液传感器收到报警信号时，工作人员不方便进入到报警区域对漏源进行搜寻，从而无法立即判断漏源的位置和危害性。

并且，目前所有的漏液侦测器都只有侦测漏液报警功能，无法分析漏液的性质，必须人为的使用PH试纸去现场测试其PH值以后，才能判断漏液的信息。但是在局限的狭小空间，人员无法进入的情况下想要了解漏液的性质非常困难。

因此，亟需提供一种针对狭小空间的移动探漏装置，可以在人员不用进入狭小空间的情况下，使用该装置寻找漏源和了解漏液的性质。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种探漏装置，在人员不用进入狭小空间的情况下，使用该装置寻找漏源和了解漏液的性质。

为实现上述目的，本实用新型提供一种探漏装置，包括杆体，在所述杆体上设置有第一凹槽与第二凹槽，所述第一凹槽沿所述杆体的长边方向设置，其两端分别延伸至所述杆体的两端边缘，其中一端在所述杆体的边缘处连接至所述第二凹槽。

可选的，所述第一凹槽呈细条形，所述第二凹槽呈方形或圆形。

可选的，所述第一凹槽的宽度为0.01cm～0.03cm。

可选的，所述第一凹槽中设置有吸水棉线，所述第二凹槽中设置有PH试纸。

可选的，所述杆体为长方体。

可选的，所述第一凹槽与第二凹槽位于所述长方体具有长边的平面上。

可选的，所述第一凹槽到所述平面的两个长边的距离相等。

可选的，在所述第一凹槽两侧的杆体上交叉设置有若干张PH试纸。

可选的，在所述第一凹槽两侧的杆体上交叉设置有3张PH试纸。

可选的，在所述杆体上靠近第二凹槽的一端设置有操作手柄。

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点:

1、本实用新型提供的探漏装置，在杆体上设置有第一凹槽与第二凹槽，第一凹槽沿所述杆体的长边方向设置，其两端分别延伸至杆体的两端边缘，其中一端在杆体的边缘处连接至第二凹槽；将探漏装置伸向需要探测的区域，若该区域有漏液发生，漏液滴入第一凹槽中，通过倾斜探漏装置，漏液沿第一凹槽流至杆体边缘处的第二凹槽，然后对第二凹槽中的漏液性质进行判断，从而寻找到漏源和了解漏液的性质，不仅避免了工作人员进行狭小的空间受到刮伤、磕碰，甚至与危害物质接触的风险，而且可以节约大量的时间；

2、本实用新型将第一凹槽设置为细条形，在其中设置吸水棉线，将第二凹槽设置为方形或圆形，在其中设置PH试纸，通过细缝吸水的原理，漏液会沿着吸水棉线蔓延至第二凹槽，使PH试纸变色，工作人员只需要观察PH试纸有无变色和颜色的变化，即可判断漏源和漏液的性质，其操作简单，方便耐用；

3、本实用新型在第一凹槽两侧的杆体上交叉设置有若干张PH试纸，可以检测到少量的液体泄漏，防止因漏液较少没有滴入第一凹槽而判断错误。

附图说明

图1为本实用新型一实施例所提供的探漏装置的结构示意图。

图2为本实用新型一实施例所提供的探漏装置的俯视图。

具体实施方式

为使本实用新型的内容更加清楚易懂，以下结合说明书附图，对本实用新型的内容做进一步说明。当然本实用新型并不局限于该具体实施例，本领域的技术人员所熟知的一般替换也涵盖在本实用新型的保护范围内。

其次，本实用新型利用示意图进行了详细的表述，在详述本实用新型实例时，为了便于说明，示意图不依照一般比例局部放大，不应对此作为本实用新型的限定。