[实用新型]一种硅片放置传送机构

权利要求书

1.一种硅片放置传送机构，其特征在于：所述硅片放置传送机构包括主支架、传送支架、传送皮带、硅片放置支架和硅片放置板，传送支架设置有两个，两个传送支架水平对称设置在主支架上侧，传送支架两侧分别竖直转动连接有皮带轮，传送皮带水平设置在皮带轮上，两个传送支架的皮带轮之间水平设置有旋转轴，传送支架一侧水平设置有传送电机，传送电机驱动皮带轮，传送皮带上设置有两个硅片放置支架，硅片放置支架下方的两侧水平对称设置有传送导向板，传送导向板设置在传送皮带上，硅片放置支架下侧竖直向上设置有提升气缸，硅片放置板水平设置在提升气缸的上侧，硅片放置支架的外侧竖直均匀设置有多个硅片限位机构；所述硅片限位机构包括支撑板、限位轮和限位皮带，支撑板设置有两块，两块支撑板竖直对称设置在硅片放置支架上侧，支撑板上下两侧分别水平转动连接有限位轮，限位皮带竖直设置在限位轮上，限位皮带表面设置有软质橡胶层。

2.根据权利要求1所述的一种硅片放置传送机构，其特征在于：所述皮带轮外侧设置有齿状表面，传送皮带内侧设置有与齿状表面相适配的齿状橡胶层。

3.根据权利要求1所述的一种硅片放置传送机构，其特征在于：所述硅片放置板上侧水平设置有防滑橡胶层。