[实用新型]泡生法蓝宝石自动长晶设备的称重自卸载装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及泡生法蓝宝石晶体制造领域，尤其涉及一种泡生法蓝宝石自动长晶设备的称重自卸载装置，同时可适用于其他相似领域。

背景技术

由于蓝宝石晶体的光学穿透带很宽，从近紫外光(190nm)到中红外线都具有很好的透光性，因此被大量用在光学元件、红外装置、高强度激光镜片材料及掩模材料上。目前超高亮度白/蓝光LED的品质取决于氮化镓外延（GaN）的材料品质，而氮化镓外延品质则与所使用的蓝宝石基板表面加工品质息息相关，蓝宝石（单晶Al₂O₃）C面Ⅲ-Ⅴ和Ⅱ-Ⅵ族沉积薄膜之间的晶格常数失配率小，同时符合GaN 外延工艺中耐高温的要求，使得蓝宝石晶片成为制作白/蓝/绿光LED的关键材料。

目前最成熟的生长大尺寸低应力无缺陷蓝宝石晶体的技术仍然还是泡生法。目前泡生法生长蓝宝石晶体的重量越来越大，从35kg级，发展到60kg级，80kg级，100kg级，甚至到120kg级。而晶体重量是体现晶体生长状况的重要参数，但是随着晶体重量的增加，所采用的传感器的重量等级也在不断增加，同时称重传感器的可分辨最小重量也在不断增加，最终导致这些低精度的称重数据失去参考价值。

发明内容

（一）要解决的技术问题

本实用新型的主要目的在于提供一种泡生法蓝宝石自动长晶设备的称重自卸载装置，为泡生法蓝宝石长晶设备在引晶阶段提供高精度称重数据，而与蓝宝石晶体的重量无关。

（二）技术方案

为达到上述目的，本实用新型提供一种泡生法蓝宝石自动长晶设备的称重自卸载装置，设置起到容纳作用的容腔，所述的容腔顶部设置起到密封作用的顶盖，所述的顶盖的底面设置吸合装置，所述的吸合装置下面设置称重传感器，所述的称重传感器连接籽晶杆支架，所述的籽晶杆支架连接籽晶杆，所述的籽晶杆穿过所述的容腔底部的通孔，所述的籽晶杆下端连接籽晶夹头，所述的籽晶夹头连接籽晶，所述的籽晶生长出蓝宝石晶体。

所述的吸合装置设置为通电产生吸合磁力的电磁铁和铁块。

所述的电磁铁通过异形螺栓固定在所述的顶盖的底面，所述的异形螺栓的头部延伸成圆柱形头部，所述的铁块的两端设置至少2个圆孔，并穿过所述的异行螺栓的圆柱形头部，并可以上下自由移动，所述的称重传感器与所述的铁块通过螺栓固定。

所述的称重传感器设置为小量程、高精度的称重传感器。

所述的籽晶杆支架通过螺栓与所述的称重传感器固定。

所述的籽晶杆支架与所述的容腔底部的间隙设置为2-3mm。

所述的籽晶杆支架的底部尺寸设置为大于所述的容腔的底部通孔的直径。

（三）有益效果

从上述技术方案可以看出，本专利具有以下有益效果：

1、引晶阶段，称重传感器承载，获得高精度的称重数据；

2、引晶结束以后，称重传感器卸载，避免蓝宝石晶体长大以后损害称重传感器。

附图说明

图1为泡生法蓝宝石自动长晶设备的外形示意图；

图2为称重自卸载装置的结构示意图。

具体实施方式

下面结合具体的实施实例对本专利作进一步展开说明，但需要指出的是，本实用新型所要求保护的结构并不限于实施例及说明书附图中的具体结构。对于本领域普通技术人员可以推知的其他结构形式，亦属于本实用新型所要求保护的范围之内。

请参阅图1、图2，一种泡生法蓝宝石自动长晶设备的称重自卸载装置，设置在泡生法蓝宝石自动长晶设备的炉膛11的顶部，包括起到容纳作用的容腔1，所述的容腔1顶部设置起到密封作用的顶盖2，所述的顶盖2上设置了带密封圈的开孔，可以为所述的容腔1内部的装置提供连接线。

所述的顶盖2的底面设置吸合装置，所述的吸合装置下面设置称重传感器5，所述的吸合装置可以实现吸合所述的称重传感器5，也可以松开所述的称重传感器5，所述的称重传感器5用于提供称重数据。