[实用新型]一种钴酸锂高密度旋转靶材有效
| 申请号： | 201520014670.9 | 申请日： | 2015-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN204417583U | 公开（公告）日： | 2015-06-24 |
| 发明（设计）人： | 胡茂横 | 申请（专利权）人： | 深圳恒泰克科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 无 | 代理人： | 无 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市坪山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 钴酸锂 高密度 旋转 | ||
【权利要求书】：
1.一种钴酸锂高密度旋转靶材，其特征在于：包括由外至内依次设置的高温烧结而成的高密度钴酸锂陶瓷旋转圆柱靶管、邦定层和刚性芯杆，所述靶管通过所述邦定层浇铸粘接在所述刚性芯杆上，所述靶管成分为LiCoO2，密度为4.95g/cm3，相对密度不小于95％，厚度为5-15mm，所述邦定层为熔点低于350℃的金属，所述刚性芯杆为金属芯杆。
2.根据权利要求1所述的一种钴酸锂高密度旋转靶材，其特征在于：所述刚性芯杆为钛管或不锈钢管。
3.根据权利要求1所述的一种钴酸锂高密度旋转靶材，其特征在于：所述刚性芯杆可浇铸粘接多段圆柱靶管，相邻两段圆柱靶管端面之间留有供热胀冷缩的伸缩缝。
4.根据权利要求1所述的一种钴酸锂高密度旋转靶材，其特征在于：所述的邦定层为铟层。
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