[实用新型]压边组件及具有该压边组件的贴膜机有效
申请号: | 201520018485.7 | 申请日: | 2015-01-12 |
公开(公告)号: | CN204547269U | 公开(公告)日: | 2015-08-12 |
发明(设计)人: | 张建国;夏静远 | 申请(专利权)人: | 深圳清溢光电股份有限公司 |
主分类号: | B32B37/10 | 分类号: | B32B37/10 |
代理公司: | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人: | 张全文 |
地址: | 518000 广东省深圳市高*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 组件 具有 贴膜机 | ||
技术领域
本实用新型属于贴膜机配件领域,尤其涉及一种压边组件及具有该压边组件的贴膜机。
背景技术
贴膜机用于蒙版(Pellicle)贴付在掩膜版(Mask)上,现有技术仅能够满足第3.5代至第6代的掩膜版贴付蒙版的制作。根据国内外TFT(薄膜场效应晶体管)行业发展趋势,各地均开始建立第8代的TFT液晶面板生产线。TFT液晶面板的代数越高,掩膜版尺寸越大。现有贴膜机无法满足第8代的大尺寸掩膜版贴付蒙版的需求。现有技术需要多套掩膜版夹具来满足贴膜要求,即每一种尺寸规格的掩膜版需要有一套与之匹配的掩膜版夹具,且每次贴膜时都需要人工根据掩膜版尺寸来更换掩膜版夹具。该方案操作麻烦,经济成本较高。
还有,现有的贴膜机采用旋转门结构,而且压边组件设置在旋转门上,在安装蒙版与掩膜版时,需要开启旋转门。由于旋转门尺寸较大,每次开启时会占用贴膜机前侧很大的空间,让净化间空间没有得到充分利用。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种压边组件,旨在解决现有贴膜机中的掩膜版夹具难以适配不同尺寸规格掩膜版的技术问题。
本实用新型是这样实现的,一种压边组件,用于将蒙版贴付在掩膜版上,所述压边组件包括安装座、绕Y轴转动安装在所述安装座上的旋转板及安装在所述安装座上且用于驱动所述旋转板绕Y轴转动的第一驱动组件,所述旋转板 具有两个沿该旋转板的长度方向开设的直通槽,且该两个直通槽的长度方向重合,所述压边组件还包括设置在所述旋转板的靠近所述安装座的一侧上且能沿所述旋转板的长度方向输出直线运动的两个第二驱动组件、由所述第二驱动组件一一对应驱动移动且一一对应穿设在所述直通槽中的两个第一连接件及设置在每一所述第一连接件上的压杆,两个所述压杆平行分布,两个所述压杆分别相抵在所述掩膜版的相对两边上,所述Y轴方向垂直于所述安装座。
进一步地,所述压边组件还包括固定在所述旋转板的靠近所述安装座的一侧上且呈环形分布的若干第一滑座及安装在所述安装座的一侧上且与所有所述第一滑座滑动配合的环形导轨。
进一步地,所述第一驱动组件包括绕Y轴枢接在所述安装座上且能输出直线运动的第一驱动件,所述第一驱动件具有一输出直线运动的输出端,所述第一驱动件的所述输出端绕Y轴枢接在所述旋转板上。
进一步地,所述压边组件还包括固定在所述安装座上的支撑板、固定在所述旋转板的靠近所述安装座一侧上且呈环形分布的若干第一滑座及安装在所述支撑板一侧上且与所有所述第一滑座滑动配合的环形导轨。
进一步地,所述支撑板上设置有一个碰块,所述旋转板的靠近所述支撑板的一侧上设置有两个与所述碰块碰撞配合以限制所述旋转板的转动范围的调整轴。
进一步地,两个所述调整轴呈相垂直设置。
进一步地,所述旋转板的靠近所述支撑板的一侧上设置有两个与所述碰块碰撞配合以缓冲所述旋转板的转动的缓冲件。
进一步地,所述压边组件还包括设置在每一所述压杆的相对两端上的第二连接件、设置在每一所述第二连接件上的第二滑座及设置在所述旋转板的靠近所述安装座的一侧上的四个直线导轨,所述第二滑座一一对应滑动设置在所述直线导轨上。
进一步地,所述第二驱动组件包括安装在所述旋转板上且能输出旋转运动 的第二驱动件、由所述第二驱动件驱动转动的丝杆及沿所述旋转板的长度方向滑动且与所述丝杆螺纹配合的滑块。
本实用新型相对于现有技术的技术效果是:两个压杆在蒙版与掩膜版贴合过程中与掩膜版背离蒙版的一侧相抵,实现蒙版与掩膜版的其中一对边的贴合,第一驱动组件驱动旋转板转动,从而带动安装在旋转板上第二驱动组件与压杆转动,以实现蒙版与掩膜版的另外一对边的贴合。两个第二驱动组件分别驱动两个压杆沿旋转板的长度方向移动,让两个压杆间距可调,从而适应不同尺寸规格掩膜版,克服了在对不同尺寸规格的掩膜版进行贴付蒙版时需要更换对应的掩膜版夹具的麻烦,节省了制作多套掩膜版夹具的成本。
本实用新型的另一目的在于提供一种贴膜机,旨在解决现有贴膜机由于采用旋转门而占用较大空间的技术问题。
本实用新型是这样实现的,一种贴膜机,包括固定支架,所述贴膜机还包括安装在所述固定支架上且用于安装所述蒙版与所述掩膜版的夹具组件及压边组件,所述压边组件沿Z轴方向滑动安装在所述固定支架上,所述贴膜机还包括用于驱动所述压边组件沿Z轴方向移动的第三驱动组件,所述Y轴方向与所述Z轴方向相垂直。
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