[实用新型]太阳能链式多晶湿法切边设备槽体盖板有效
申请号: | 201520020125.0 | 申请日: | 2015-01-13 |
公开(公告)号: | CN204289493U | 公开(公告)日: | 2015-04-22 |
发明(设计)人: | 冯宇俊;刘进;苑虎;张之栋;曹志操 | 申请(专利权)人: | 山西潞安太阳能科技有限责任公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 太原市科瑞达专利代理有限公司 14101 | 代理人: | 李富元 |
地址: | 046000 山*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 太阳能 链式 多晶 湿法 切边 设备 盖板 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种盖子,特别是一种太阳能链式多晶湿法切边设备槽体盖板。
背景技术
现有太阳能电池链式湿法切边设备,如Centrotherm C.Side Inline设备的刻蚀槽盖板设计为三角形,在生产过程中,由于酸气的挥发,且盖板内外存在温差,长时间盖板上会冷凝大量具有腐蚀性的液滴,这些液滴滴在硅片扩散表面,导致产生不良电池片。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是:如何使得酸气挥发凝结成的液滴不滴在硅片扩散表面上。
本实用新型所采用的技术方案是:太阳能链式多晶湿法切边设备槽体盖板,包括矩形前板、矩形后板、三角形左板、三角形右板,前板和后板的顶边焊接在一起,左板和右板对称安装在前板和后板的两侧,左板和右板内侧有导流槽。在本技术方案中,酸气挥发凝结成的液滴在前板和后板会顺着牵绊和后板的倾斜面流入设备槽体,不影响硅片,左板和右板有导流槽可以使酸气挥发凝结成的液滴顺着导流槽流入设备槽体也不会影响硅片。
作为一种优选方式:导流槽是由两块长条状板彼此顶边焊接在一起围成的一个∧型板,∧型板焊接在左板和右板的靠近底边处,∧型板的每块长条状板与左板或者右板的平面角为30°~60°,平面角倾斜向上。本导流槽制作简单,并且能够轻易卸掉液滴,不会使液滴从左板和下板底部中间滴入槽体,从而不会影响硅片生产。
本实用新型的有益效果是:通过在盖板上增设导流槽,将聚集成液滴的酸气沿着导流槽流入刻蚀槽体,避免了由于液滴滴在硅片扩散表面,导致产生不良电池片,目前由液滴造成的不良片比例大约为0.1%。本设计可大大降低酸性液滴滴在硅片表面,从而降低由于液滴造成的不良电池片比例。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图;
图2是图1的A向视图;
其中,1、左板,2、前板,3、右板,4、后板,5、导流槽,6、前板和后板的顶边。
具体实施方式
如图1和图2所示,本实用新型盖板包括矩形前板2、矩形后板4、三角形左板1、三角形右板3,前板2和后板4的顶边焊接在一起,左板1和右板3对称安装在前板2和后板4的两侧,左板1和右板3内侧有导流槽。导流槽是由两块长条状板彼此顶边焊接在一起围成的一个∧型板,∧型板焊接在左板和右板的靠近底边处,∧型板的每块长条状板与左板或者右板的平面角为30°~60°,平面角倾斜向上。在前板2和后板4集成的液滴沿着斜面流入刻蚀槽体,左板1和右板3的冷凝液滴可沿着导流槽回流到槽体内,避免了由于液滴滴在硅片扩散表面,导致产生不良电池片,目前由液滴造成的不良片比例大约为0.1%。本设计可大大降低酸性液滴滴在硅片表面,从而降低由于液滴造成的不良电池片比例。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的