[实用新型]一种用于硅麦克风的振膜

权利要求书

1.一种用于硅麦克风的振膜，其特征在于：所述振膜包括基面和设置在所述基面同侧的多个空心突起，所述空心突起具有凹面、底面和侧壁，所述凹面与所述基面位于同一平面上，所述底面与所述基面相平行；所述空心突起的高度高于所述基面厚度的1.5倍；所述凹面或者所述底面之中的面积较大者所具有的最大直径处于0.5-50微米范围内，且所述面积较大者所具有的最大直径和最小直径之比不大于5：1。

2.根据权利要求1所述的用于硅麦克风的振膜，其特征在于，所述振膜的材料为掺杂多晶硅。

3.根据权利要求1所述的用于硅麦克风的振膜，其特征在于，所述空心突起的基面和侧壁之间的夹角在45度-135度之间。

4.根据权利要求1所述的用于硅麦克风的振膜，其特征在于，所述振膜的空心突起的高度超过所述基面厚度的2倍。

5.根据权利要求1所述的用于硅麦克风的振膜，其特征在于，所述空心突起中凹面或底面的形状为圆形或凸多边形。

6.根据权利要求1所述的用于硅麦克风的振膜，其特征在于，相邻两个空心突起之间的最小边距不小于所述基面厚度的3倍。

7.根据权利要求1所述的用于硅麦克风的振膜，其特征在于，所述多个空心突起具有相同的尺寸形状且按等间距排列。

8.根据权利要求1所述的用于硅麦克风的振膜，其特征在于，所述多个空心突起随着距离振膜中心位置的不同而设置不同的排列间距。