[实用新型]碳化硅外延炉的进气装置有效
| 申请号： | 201520024695.7 | 申请日： | 2015-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN204550791U | 公开（公告）日： | 2015-08-12 |
| 发明（设计）人： | 钱卫宁;冯淦;赵建辉 | 申请（专利权）人： | 瀚天天成电子科技（厦门）有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/14 | 分类号： | C30B25/14;C30B29/36 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 曾少丽 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市湖*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 碳化硅 外延 装置 | ||
【权利要求书】：
1.碳化硅外延炉的进气装置，其特征在于：包括进气管和主腔体；主腔体呈圆柱形，主腔体侧边开设多个圆形出气孔，进气管上开设进气口，进气管插置在主腔体上。
2.如权利要求1所述的碳化硅外延炉的进气装置，其特征在于：所述圆形出气孔直径大小为1-2.5cm。
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