[实用新型]光刻胶涂布吸头及光刻胶涂布装置

权利要求书

1.一种光刻胶涂布吸头，其特征在于，所述光刻胶涂布吸头的形状为凸台型，包括：底盘和位于所述底盘上表面，且与所述底盘固定连接的托盘，其中，所述托盘的直径小于待涂布晶圆的直径，用于放置待涂布晶圆，所述底盘的直径等于待涂布晶圆的直径，用于对所述待涂布晶圆的放置位置进行定位，且所述光刻胶涂布吸头中具有贯穿所述底盘和托盘的通孔。

2.根据权利要求1所述的光刻胶涂布吸头，其特征在于，所述底盘的直径比所述托盘的直径大2厘米-3厘米，包括端点值。

3.根据权利要求1所述的光刻胶涂布吸头，其特征在于，所述光刻胶涂布吸头的制作材料为铁氟龙。

4.一种光刻胶涂布装置，其特征在于，包括：权利要求1-3任一项所述的光刻胶涂布吸头。

5.根据权利要求4所述的光刻胶涂布装置，其特征在于，还包括：

涂布锅，所述涂布锅环设于所述光刻胶涂布吸头周围；

真空管，所述真空管一端位于所述光刻胶涂布吸头的通孔内；

真空泵，所述真空泵与所述真空管的另一端相连，用于对所述真空管进行抽真空。

6.根据权利要求5所述的光刻胶涂布装置，其特征在于，还包括：

电机，所述电机用于带动所述光刻胶涂布吸头旋转。