[实用新型]带有防腐层的新型PECVD沉积槽有效
| 申请号： | 201520031860.1 | 申请日： | 2015-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN204417590U | 公开（公告）日： | 2015-06-24 |
| 发明（设计）人： | 雷晓宏 | 申请（专利权）人： | 北京通嘉宏盛科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/513 | 分类号： | C23C16/513;B32B1/02 |
| 代理公司： | 无 | 代理人： | 无 |
| 地址： | 101102 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 带有 防腐 新型 pecvd 沉积 | ||
【权利要求书】：
1.一种带有防腐层的新型PECVD沉积槽，包括沉积槽本体(1)、以及依次覆盖在其顶部表面的喷砂层(2)与等离子层(3)，其特征在于，在所述喷砂层(2)与所述沉积槽本体(1)的顶部表面之间还覆盖有矿脂防腐层(4)，所述矿脂防腐层(4)由所述矿脂底漆层(41)、矿脂胶泥层(42)、矿脂胶带层(43)与外保护带(44)四层复合构成。
2.根据权利要求1所述的带有防腐层的新型PECVD沉积槽，其特征在于，所述矿脂胶带层(43)由已经浸渍过防腐矿脂的背材层(431)、防腐胶层(432)与防粘膜层(433)三层复合构成。
3.根据权利要求2所述的带有防腐层的新型PECVD沉积槽，其特征在于，所述矿脂胶带层(43)的厚度为1—1.5mm。
4.根据权利要求3所述的带有防腐层的新型PECVD沉积槽，其特征在于，所述外保护带(44)为PVC外保护带。
5.根据权利要求1至4中任一所述的带有防腐层的新型PECVD沉积槽，其特征在于，所述沉积槽本体(1)为不锈钢V字形板槽，其厚度为1.2mm。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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