[实用新型]一种用于电沉积工艺的电解液循环管路系统

说明书

技术领域

本实用新型属于电沉积工艺领域，尤其涉及一种用于电沉积工艺的电解液循环管路系统。

背景技术

电沉积工艺是一种高度精密的表面加工技术，是目前加工金属微细尺度结构和零件的主要支撑技术之一。在电沉积工艺过程中，电解液的循环流动能够保持电解液中电解质的均匀性，是保证电沉积质量的关键因素之一。能够使用较少的管路器件来实现电解液多种循环回路的功能且操作简单已成为这一领域的目标。

目前，用于电沉积工艺的电解液循环管路系统或是手工操作或是自动化控制。手工操作的管路系统，工作效率低。而大部分可以实现自动化控制的管路系统也存在管路器件多、操作复杂且电解液循环回路单一等缺点。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种用于电沉积工艺的所需管路器件简单且可以实现电解液多种循环回路功能的电解液循环管路系统。

为了实现以上目的，本实用新型采用以下的技术方案。

本实用新型提出的一种用于电沉积工艺的电解液循环管路系统，包括沉积槽、储液槽、过滤机、循环泵，其特征在于：还包括3个一进二出电磁阀和2个两进一出电磁阀；所述的沉积槽、电磁阀I、储液槽、电磁阀II、循环泵、电磁阀III、过滤机、电磁阀IV、电磁阀V和沉积槽通过管道依次连接；所述的电磁阀I还与电磁阀II通过管道连接；所述的电磁阀III还与电磁阀IV通过管道连接，所述的电磁阀V还与储液槽通过管道连接。

本实用新型具有以下优点及有益效果。

本实用新型提出的一种用于电沉积工艺的电解液循环管路系统，所需管路器件少、结构简单，操作方便。可以通过改变该系统中各个电磁阀的控制状态来实现多种电解液循环回路的功能。

附图说明

图1为一种用于电沉积工艺的电解液循环管路系统的结构示意图。

图中：1是沉积槽，2是储液槽，3是循环泵，4是过滤机，5是电磁阀II，6是电磁阀III，7是电磁阀IV，8是电磁阀V，9是电磁阀I。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的实施方式进行详细的说明。

如图1所示，本实用新型提出的一种用于电沉积工艺的电解液循环管路系统，包括沉积槽1、储液槽2、过滤机4和循环泵3，还包括电磁阀III 6、电磁阀V 8和电磁阀I 9等3个一进二出电磁阀及电磁阀II 5、电磁阀IV 7等2个两进一出电磁阀。

在电磁阀IV 7通电，其他电磁阀断电的情况下，循环泵3为源动力，电解液从储液槽2依次通过电磁阀II 5、循环泵3、电磁阀III 6、电磁阀IV 7、电磁阀V 8和沉积槽1形成上液回路。

在电磁阀II 5和电磁阀IV 7通电，其他电磁阀断电的情况下，循环泵3为源动力，电解液从沉积槽1依次通过电磁阀I 9、电磁阀II 5、循环泵3、电磁阀III 6、电磁阀IV 7和电磁阀V 8，最后回流至沉积槽1，形成沉积槽电解液自循环回路。

在电磁阀I 9和电磁阀IV 7通电，其他电磁阀断电的情况下，循环泵3为源动力，电解液从沉积槽1依次通过电磁阀I 9、储液槽2、电磁阀II 5、循环泵3、电磁阀III 6、电磁阀IV 7和电磁阀V 8，最后回流至沉积槽1，形成电解液换液回路。

在电磁阀IV 7和电磁阀IV 8通电，其他电磁阀断电的情况下，循环泵3为源动力，电解液从储液槽2依次通过电磁阀II 5、循环泵3、电磁阀III 6、电磁阀IV7和电磁阀V 8，最后回流至储液槽2，形成储液槽电解液自循环回路。

在电磁阀I 9、电磁阀II 5、电磁阀IV 7和电磁阀V 8通电，其他电磁阀断电的情况下，循环泵3为源动力，电解液从沉积槽1依次通过电磁阀I 9、电磁阀II 5、循环泵3、电磁阀III 6、电磁阀IV 7和电磁阀V 8，最后至储液槽2，形成电解液退液回路。

在以上各个回路中，若使电磁阀IV 7断电，电磁阀III 6通电，即可将过滤机4串联到各个回路中，形成电解液循环过滤回路。