[实用新型]压差传感器和压力传感器

权利要求书

1.一种用于测量过程变量的基于电容的压差传感器，所述压差传感器包括：

第一半单元，所述第一半单元包括：

第一金属主体，所述第一金属主体具有第一外端壁和第一内壁；

第一绝缘体，所述第一绝缘体延伸穿过所述第一金属主体至所述第一内壁处的第一表面；以及

第一电容器极板，所述第一电容器极板在所述第一表面处定位在所述第一绝缘体上；

第二半单元，所述第二半单元包括：

第二金属主体，所述第二金属主体具有第二外端壁和第二内壁；

第二绝缘体，所述第二绝缘体延伸穿过所述第二金属主体至所述第二内壁处的第二表面；以及

第二电容器极板，所述第二电容器极板在所述第二表面处定位在所述第二绝缘体上；

膜片，所述膜片连接在所述第一半单元的第一内表面与所述第二半单元的第二内表面之间的接合部处；

第一隔离管，所述第一隔离管具有与第一内腔流体连通的第一端并且延伸穿过所述第一绝缘体以在所述第一外端壁处离开所述第一半单元；

第二隔离管，所述第二隔离管具有与第二内腔流体连通的第一端并且延伸穿过所述第二绝缘体以在所述第二外端壁处离开所述第二半单元；

第一电导线，所述第一电导线具有与所述第一电容器极板接触的第一端并且平行于所述第一隔离管延伸穿过所述第一绝缘体以在所述第一外端壁处离开所述第一半单元；

第二电导线，所述第二电导线具有与所述第二电容器极板接触的第一端并且平行于所述第二隔离管延伸穿过所述第二绝缘体以在所述第二外端壁处离开所述第二半单元；

第三电导线，所述第三电导线具有与所述第一半单元或第二半单元接触的第一端；

第一填充流体，所述第一填充流体位于所述第一隔离管和所述第一内腔内；以及

第二填充流体，所述第二填充流体位于所述第二隔离管和所述第二内腔内。

2.根据权利要求1所述的压差传感器，其中所述膜片通过所述第一金属主体和所述第二金属主体中的一个电连接至所述第三电导线。

3.根据权利要求1所述的压差传感器，包括多根第一电导线和多根第二电导线。

4.根据权利要求1所述的压差传感器，其中所述第一隔离管包括邻近第一隔离膜片终止的第二端，而且其中所述第二隔离管包括邻近第二隔离膜片终止的第二端。

5.根据权利要求1所述的压差传感器，其中所述第一电导线、第二电导线和第三电导线分别具有连接至电路以产生压差信号输出的第二端。

6.根据权利要求1所述的压差传感器，其中所述第一金属主体为环形的并且围绕所述第一绝缘体，而且其中所述第二金属主体为环形的并且围绕所述第二绝缘体。

7.根据权利要求1所述的压差传感器，其中所述绝缘体是玻璃基或陶瓷基材料。

8.根据权利要求1所述的压差传感器，其中所述第一内壁的所述第一表面和所述第二内壁的所述第二表面分别为曲面。

9.一种压差传感器，该压差传感器包括：

单元主体，所述单元主体具有第一外端壁、第二外端壁、圆柱形侧壁、第一内壁以及第二内壁，所述第一内壁和第二内壁彼此相对并且限定内腔，其中所述单元主体包括围绕第一绝缘体区域的第一半金属单元和围绕第二绝缘体区域的第二半金属单元，所述第一绝缘体区域从所述第一外端壁延伸至所述内腔并且形成所述第一内壁的第一表面，所述第二绝缘体区域从所述第二外端壁延伸至所述内腔并且形成所述第二内壁的第二表面；

可偏转膜片，所述可偏转膜片的外周缘连接在所述第一内壁和所述第二内壁之间，所述膜片将所述内腔分隔成第一腔和第二腔；

所述第一表面上的第一电极；

所述第二表面上的第二电极；

第一电导线，所述第一电导线从所述第一电极延伸穿过所述第一绝缘体区域并且延伸到所述第一外端壁外部；以及

第二电导线，所述第二电导线从所述第二电极延伸穿过所述第二绝缘体区域并且延伸到所述第二外端壁外部。

10.根据权利要求9所述的压差传感器，其还包括：

第一流体通道，所述第一流体通道从所述第一腔至所述第一外端壁延伸通过所述第一绝缘体区域；以及

第二流体通道，所述第二流体通道从所述第二腔至所述第二外端壁延伸通过所述第二绝缘体区域。