[实用新型]一种设置屏蔽罩的点针工作台

说明书

技术领域

本实用新型涉及设备检测领域，具体涉及一种设置屏蔽罩的点针工作台。

背景技术

点针工作台主要用于半导体集成电路测试及故障分析，在设计或失效分析过程中，工程师经常须测量一些元件(电阻、电容、电感等)的电性参数，当电性参数的精度要求非常高时，比如：集成电路meta l线宽为微米时，必须采用点针工作台将集成电路内部讯号联导出来，便于其它的电性测试设备进行测试、分析，但现有的点针工作台没有设置屏蔽罩，测试过程中受到很多外在因素干扰，比如：电磁波、光源、高压电场等，测试结果的真实性比较差、误判率高。

实用新型内容

鉴于目前点针工作台存在的上述不足，本实用新型提供一种能保证测试结果的真实性、减少误判率的设置屏蔽罩的点针工作台。

为达到上述目的，本实用新型采用根据下技术方案：

一种设置屏蔽罩的点针工作台，所述点针工作台的周围设有封闭的屏蔽罩，所述屏蔽罩的侧面设有信号转换器，所述点针工作台与屏蔽罩之间设有间隙，所述间隙的距离为10-30mm。

依照本实用新型的一个方面，所述屏蔽罩的材料为金属材料，所述屏蔽罩的内外表面涂有抗干扰油漆。

依照本实用新型的一个方面，所述抗干扰油漆的颜色为银铜色或黑色。

依照本实用新型的一个方面，所述屏蔽罩的材料为磁布，所述磁布的颜色为黑色。

依照本实用新型的一个方面，所述点针工作台的四围、顶部和底部均设有屏蔽罩，所述屏蔽罩的一侧设有工作门。

依照本实用新型的一个方面，所述点针工作台包括镜柱、台面、样品台和镜头，所述镜柱、样品台分别安装在台面上，所述镜头固定在镜柱的顶端。

本实用新型的优点：由于本实用新型的点针工作台的四围、顶部和底部均设有封闭的屏蔽罩，点针工作台与屏蔽罩之间设有间隙，屏蔽罩可以屏蔽多种外界干扰信号，比如：电磁波、光源、高压电场等，让芯片在无外界干扰的环境下测试样品，这样可以保证测试结果的真实性、减少误判率；屏蔽罩的一侧设有工作门，方便操作人员进行操作；屏蔽罩的侧面设有信号转换器，在保证点针工作台中的芯片在无外界干扰的环境下测试样品的同时，便于点针工作台将集成电路内部讯号联导出来，所以本实用新型的设置屏蔽罩的点针工作台能保证测试结果的真实性、减少误判率、人员操作方便。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的一种设置屏蔽罩的点针工作台的示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1所示，一种设置屏蔽罩的点针工作台，所述点针工作台的周围设有封闭的屏蔽罩1，屏蔽罩1的侧面设有信号转换器3，点针工作台与屏蔽罩1之间设有间隙，间隙的距离为10-30mm。

在实际应用中，点针工作台包括镜柱4、台面6、样品台5和镜头2，镜柱4、样品台5分别安装在台面6上，镜头2定在镜柱4顶端，点针工作台主要用在半导体集成电路测试及故障分析，在设计或失效分析过程中，工程师经常会要量测一些元件(比如：电阻、电容、电感等)的电性参数，但是由于集成电路metal线宽仅为微米，用正常手段是无法量测，这时工程师采用点针工作台，点针工作台利用高精度微探针将集成电路内部讯号联导出来，便于其它的电性测试设备对此进行测试、分析，点针工作台的微探针最高解析度为0.25um，针座的移动精度是0.7um，满足半导体集成电路测试及故障分析的要求。为了保证点针工作台在测试样品时免受多种外界干扰信号，屏蔽罩1的材料一般选用金属材料或磁布，当屏蔽罩1的材料选用金属材料时，金属材料的选择须满足以下要求：

(1)当干扰电磁场的频率较高时，利用低电阻率的金属材料中产生的涡流，形成对外来电磁波的抵消作用，从而达到屏蔽的效果。

(2)当干扰电磁波的频率较低时，要采用高导磁率的材料，从而使磁力线限制在屏蔽罩1内部，防止扩散到屏蔽的空间里。