[实用新型]基板加工设备及其基板感测装置

权利要求书

1.一种基板感测装置，其特征在于，包括：

多个传感导正组件，位于基板两侧，各所述传感导正组件包括：

传感器；

连接部，连接至所述传感器；以及

导杆，所述导杆的一端固定于所述连接部，另一端可绕所述连接部转动，其中，位于所述基板两侧的导杆可转动的一端抵住所述基板，使所述基板沿预定路线传送。

2.如权利要求1所述的基板感测装置，其特征在于，所述基板感测装置感测由一传送带传送的基板。

3.如权利要求1或2所述的基板感测装置，其特征在于，还包括导正控制模块，所述导正控制模块与所述传感器和所述连接部电性连接，并通过所述连接部控制所述导杆的转动。

4.如权利要求1或2所述的基板感测装置，其特征在于，分别位于所述基板一侧的所述传感导正组件的数量为两个。

5.如权利要求2所述的基板感测装置，其特征在于，

多个所述传感导正组件位于所述传送带的传入端的两侧，所述导杆可转动的一端背向所述传入端；或者

多个所述传感导正组件位于所述传送带的传出端的两侧，所述导杆可转动的一端朝向所述传出端。

6.如权利要求2所述的基板感测装置，其特征在于，所述传感器为摇摆式传感器，包括：

支架，固定于所述连接部上；以及

传感器振子，可摆动地安装于所述支架上，并朝向所述传送带传送基板的一面，所述传感器振子垂直于所述传送带时，其与所述传送带之间的距离小于所述基板的厚度。

7.如权利要求6所述的基板感测装置，其特征在于，所述传感器位于所述传送带的传送区域内，所述导杆位于所述传送带的传送区域外。

8.如权利要求2所述的基板感测装置，其特征在于，所述传感器为红外线传感器，所述红外线传感器位于所述传送带传送区域内或传送区域外。

9.如权利要求2所述的基板感测装置，其特征在于，还包括预警模块，所述预警模块与所述传感器电性连接，并根据所述传感器的信号控制所述传送带停止传送所述基板。

10.一种基板加工设备，其特征在于，所述基板加工设备包括依次布置的多个机台，所述多个机台包括依次连接第一机台和第二机台，所述第一机台可升降地与所述第二机台水平衔接，所述第一机台和/或所述第二机台包括如权利要求1至9所述的基板感测装置。