[实用新型]一种蚀刻液循环提铜装置有效

专利信息
申请号: 201520039144.8 申请日: 2015-01-20
公开(公告)号: CN204550723U 公开(公告)日: 2015-08-12
发明(设计)人: 周爱成;邰康乾;赵奕栋;樊新林 申请(专利权)人: 昆山美源达环保科技有限公司
主分类号: C25C1/12 分类号: C25C1/12
代理公司: 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 代理人: 连平
地址: 215300 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 蚀刻 循环 装置
【权利要求书】:

1.一种蚀刻液循环提铜装置,其特征在于,包括蚀刻液腔、再生液腔、至少2个电解装置,所述蚀刻液腔与所述电解装置连通,所述电解装置之间相互连通,所述电解装置包括反应容腔,所述反应容腔内设有若干阴极板、若干阳极盒,所述阴极板与阳极盒间隔设置,所述阳极盒包括框架、阳极板、2片离子膜,所述阳极板插于所述框架内,2片所述离子膜位于所述阳极板两侧;所述反应容腔底部设有再生液出口和蚀刻液出口,所述再生液出口与所述再生液腔连通,所述蚀刻液出口与所述蚀刻液腔连通,所述蚀刻液出口处设有循环泵。

2.根据权利要求1所述的蚀刻液循环提铜装置,其特征在于,所述电解装置为6个。

3.根据权利要求1所述的蚀刻液循环提铜装置,其特征在于,所述阴极板为6个,并竖直设置在所述反应容腔内。

4.根据权利要求1所述的蚀刻液循环提铜装置,其特征在于,所述阳极盒为7个,并竖直设置在所述反应容腔内。

5.根据权利要求1所述的蚀刻液循环提铜装置,其特征在于,所述框架由PVC制成。

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