[实用新型]一种蚀刻液循环提铜装置有效
申请号: | 201520039144.8 | 申请日: | 2015-01-20 |
公开(公告)号: | CN204550723U | 公开(公告)日: | 2015-08-12 |
发明(设计)人: | 周爱成;邰康乾;赵奕栋;樊新林 | 申请(专利权)人: | 昆山美源达环保科技有限公司 |
主分类号: | C25C1/12 | 分类号: | C25C1/12 |
代理公司: | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人: | 连平 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 蚀刻 循环 装置 | ||
1.一种蚀刻液循环提铜装置,其特征在于,包括蚀刻液腔、再生液腔、至少2个电解装置,所述蚀刻液腔与所述电解装置连通,所述电解装置之间相互连通,所述电解装置包括反应容腔,所述反应容腔内设有若干阴极板、若干阳极盒,所述阴极板与阳极盒间隔设置,所述阳极盒包括框架、阳极板、2片离子膜,所述阳极板插于所述框架内,2片所述离子膜位于所述阳极板两侧;所述反应容腔底部设有再生液出口和蚀刻液出口,所述再生液出口与所述再生液腔连通,所述蚀刻液出口与所述蚀刻液腔连通,所述蚀刻液出口处设有循环泵。
2.根据权利要求1所述的蚀刻液循环提铜装置,其特征在于,所述电解装置为6个。
3.根据权利要求1所述的蚀刻液循环提铜装置,其特征在于,所述阴极板为6个,并竖直设置在所述反应容腔内。
4.根据权利要求1所述的蚀刻液循环提铜装置,其特征在于,所述阳极盒为7个,并竖直设置在所述反应容腔内。
5.根据权利要求1所述的蚀刻液循环提铜装置,其特征在于,所述框架由PVC制成。
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