[实用新型]基于反应池外平面镜反射的微悬臂梁传感检测系统

权利要求书

1.基于反应池外平面镜反射的微悬臂梁传感检测系统，其特征是所述系统包括激光器、激光器支架、激光器位移平台、显微摄像头、显微摄像头支架、反应池、反应池进口、反应池出口、蠕动泵、液缸、微悬臂梁、夹持台、透光装置、光电探测器、光电探测器支架、光电探测器位移平台、数据采集卡和计算机，激光器通过激光器支架安装在激光器位移平台上，激光器位移平台固定在反应池左侧正上方，显微摄像头通过显微摄像头支架安装在激光器位移平台右侧、微悬臂梁安装在夹持台上，透光装置安装在反应池右侧上方，透光装置上侧内壁上设置第一平面镜，透光装置下侧内壁上设置第二平面镜，所述第一平面镜与透光装置上侧内壁平行，所述第二平面镜固定于透光装置下侧内壁上的位移平台上，并与透光装置内壁平行，由激光器发射出的激光束透过反应池上方照射到微悬臂梁尖端上，激光束经微悬臂梁反射后从反应池上方射出，并分别经第一平面镜和第二平面镜反射后被光电探测器所接收，数据采集卡采集光电探测器的输出信号，计算机记录和处理数据采集卡上的输出信号。

2.根据权利要求1所述的基于反应池外平面镜反射的微悬臂梁传感检测系统，其特征是：所述激光器是波长为632nm-780nm的半导体激光器。

3.根据权利要求1所述的基于反应池外平面镜反射的微悬臂梁传感检测系统，其特征是：所述显微摄像头为USB高清数码显微镜。

4.根据权利要求1所述的基于反应池外平面镜反射的微悬臂梁传感检测系统，其特征是：所述夹持台的台面与水平面形成0°-10°范围内的倾角。

5.根据权利要求1所述的基于反应池外平面镜反射的微悬臂梁传感检测系统，其特征是：所述光电探测器为位置敏感传感器PSD。