[实用新型]基于低温等离子体改性修饰的微悬臂梁偏转检测系统

权利要求书

1.基于低温等离子体改性修饰的微悬臂梁偏转检测系统，其特征是所述系统包括：

激光器，所述激光器固定于可移动平台上，激光器的激光头可以360°旋转；

反光镜，所述反光镜架设于所述激光器发出光束的正前方；

微悬臂梁，所述微悬臂梁为高分子材料特制梁，利用低温等离子体对梁进行改性修饰,修饰后的微悬臂梁具有亲疏水性、细胞亲和性、抗凝血性、生物相容性；

光电位置敏感元件，所述光电位置敏感元件为一光电位置敏感探测器PSD，所述光电位置敏感探测器PSD用于接收经所述微悬臂梁自由端反射后所形成的激光束，并产生一个输出信号；

数据处理设备，所述数据处理设备为数据采集卡用于接收光电位置敏感探测器PSD输出信号；

计算机，所述计算机用于处理数据采集卡所采集的数据。

2.根据权利要求1所述的基于低温等离子体改性修饰的微悬臂梁偏转检测系统，其特征是所述系统微悬臂梁为高分子材料特制梁，由改变加在放电管两极交流高压的电压幅值和频率来产生不同低温等离子体对其进行改性修饰,修饰后的微梁具有不同层度的生化特性，所述微悬臂梁可以对不同待测目标进行实时检测。

3.根据权利要求1所述的基于低温等离子体改性修饰的微悬臂梁偏转检测系统，其特征是所述低温等离子体是由交流高电压介质阻挡放电产生，调节电极电压即可产生不同要求的低温等离子体。

4.根据权利要求3所述的基于低温等离子体改性修饰的微悬臂梁偏转检测系统，其特征是所述低温等离子体包括电子、正离子、激发态分子、自由基和光子。

5.根据权利要求1所述的基于低温等离子体改性修饰的微悬臂梁偏转检测系统，其特征是所述激光器所发出激光为纳米光源。

6.根据权利要求1所述的基于低温等离子体改性修饰的微悬臂梁偏转检测系统，其特征是所述反光镜固定于基体夹持台上起始保持45°的倾斜角。

7.根据权利要求1所述的基于低温等离子体改性修饰的微悬臂梁偏转检测 系统，其特征是所述光电位置敏感器件为基于横向光电效应的半导体器件。