[实用新型]芯片生产线的废水处理系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及废水处理的技术领域，尤其涉及一种芯片生产线的废水处理系统。

背景技术

在半导体制造技术中，通过一系列的光刻、刻蚀、沉积、离子注入、研磨、清洗等工艺形成具有各种功能的半导体芯片，然后将所述半导体芯片进行封装和电性测试，并最终形成终端产品。目前，在半导体芯片的制造过程中，会产生大量的工业废水。

在现有的废水处理过程中，通常单独使用序列间歇式活性污泥法(SBR)或生物接触氧化法或曝气生物滤池(BAF)，均只能对废水进行单一的处理，例如为过滤或微生物反应或去除毒性等，由于处理方式过于单一，这常常导致过滤物质很快堵塞的问题。因此，废水处理仍有改善的空间。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种芯片生产线的废水处理系统，以解决现有技术存在的处理方式过于单一，这常常导致过滤物质很快堵塞的问题。

为解决上述问题，本实用新型实施例提供一种芯片生产线的废水处理系统，包括废水接收管道、废水处理池及净水输出管道，其中，所述废水接收管道接收来自芯片生产线的废水，所述废水中包含纳米级悬浮颗粒物，所述废水处理池连接所述废水处理池，所述废水处理池具有悬浮物污泥物质以及过滤膜，以吸附废水中的纳米级颗粒物，形成微米级以上的悬浮颗粒物以及去除废水中的悬浮颗粒物，所述净水输出管道连接所述废水处理池，以输出所述过滤膜过滤后的净水。

其中，所述废水处理系统还包括：所述废水处理池进一步包括检测器及排放装置，其中，所述检测器设于所述废水处理池中，以检测所述悬浮物污泥物质的浓度，所述排放装置连接所述检测器与废水处理池，以排放超过预设浓度的悬浮物污泥物质。

其中，所述过滤膜包括膜生物反应器。

其中，所述膜生物反应器包括中空纤维膜。

其中，所述废水接收管道中包括PH值调节物质和过滤器，其中所述PH值调节物质与废水混合，所述过滤器与所述废水处理池连接，且滤除废水中的颗粒物体。

其中，所述过滤器的目数为60-100目。

其中，所述PH值调节物质包括碱性物质。

其中，所述碱性物质包括氢氧化钠。

其中，所述净水输出管道中包括细菌抑制剂，抑制净水中的细菌滋生。

其中，所述细菌抑制剂包括次氯酸钠。

根据本实用新型的技术方案，通过对所述废水进行膜生物反应器处理，并于膜生物反应器处理前，加入悬浮物污泥物质。如此一来，可达到水资源的回收再利用的效果，并可避免膜生物反应器堵塞的情况发生。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本申请的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1是根据本发明第一实施例的芯片生产线的废水处理方法的流程图；

图2是根据本发明第二实施例的芯片生产线的废水处理方法的流程图；

图3是根据本发明第三实施例的芯片生产线的废水处理方法的流程图；

图4是根据本发明第四实施例的芯片生产线的废水处理系统的示意图；

图5是根据本发明第五实施例的芯片生产线的废水处理系统的示意图；

图6是根据本发明第六实施例的芯片生产线的废水处理系统的示意图。

具体实施方式

本实用新型的主要思想在于，基于通过对所述废水进行膜生物反应器处理，并于膜生物反应器处理前，加入悬浮物污泥物质。如此一来，可达到水资源的回收再利用的效果，并可避免膜生物反应器堵塞的情况发生。

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，以下结合附图及具体实施例，对本实用新型作进一步地详细说明。

根据本发明的实施例，提供了一种芯片生产线的废水处理方法。

图1是根据本发明第一实施例的芯片生产线的废水处理方法的流程图。

在步骤S102中，接收来自于芯片生产线的废水，所述废水中包含纳米级悬浮颗粒物。所述纳米级悬浮颗粒物例如为二氧化硅、硅粉、金属物质等。