[实用新型]一种表面等离子体慢光波导有效

申请号：	201520050227.7	申请日：	2015-01-23
公开（公告）号：	CN204374476U	公开（公告）日：	2015-06-03
发明（设计）人：	陈辉;陈佳佳;陈明	申请（专利权）人：	桂林电子科技大学
主分类号：	G02B6/122	分类号：	G02B6/122;G02B6/124
代理公司：	桂林市持衡专利商标事务所有限公司 45107	代理人：	欧阳波
地址：	541004 广***	国省代码：	广西;45
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摘要：
搜索关键词：	一种表面等离子体波导
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【权利要求书】：

1.一种低损耗表面等离子体慢光波导，包括金属基底(1)和介质光栅(2)，其特征在于：

所述金属基底(1)为上、下两块，介质光栅(2)的栅条上、下两端分别经加载介质层(3)与上、下金属基底(1)连接，介质光栅(2)的栅条以上、下金属基底(1)之间的水平中心线上下对称，各栅条的宽度相等，各栅条的间距相等，各栅条的厚度相等，栅条的高度由一端向另一端以相同的增幅逐渐递增，最少为4根栅条；栅条之间为空气(4)或者为真空。

2.根据权利要求1所述的低损耗表面等离子体慢光波导，其特征在于：

所述介质光栅(2)的栅条宽度为100～120nm。

3.根据权利要求1所述的低损耗表面等离子体慢光波导，其特征在于：

所述介质光栅(2)的栅条间距为130～250nm。

4.根据权利要求1所述的低损耗表面等离子体慢光波导，其特征在于：

所述介质光栅(2)的栅条高度为40nm≤h≤800nm，相邻栅条的高度差为4～16nm。

5.根据权利要求1所述的低损耗表面等离子体慢光波导，其特征在于：

所述的加载介质层(3)的高度为10～20nm。

6.根据权利要求1所述的低损耗表面等离子体慢光波导，其特征在于：

所述介质光栅(2)的栅条和加载介质层(3)的厚度相等。

7.根据权利要求1所述的低损耗表面等离子体慢光波导，其特征在于：

与加载介质层(3)连接的上方的金属基底(1)的底和下方的金属基底(1)的顶为直线，二者以水平中心线上下对称。