[实用新型]扩晶机的顶膜结构

权利要求书

1.一种扩晶机的顶膜结构；所述顶膜结构的俯视形状是四边形；在所述顶膜结构的四边分别设置可以转动的圆柱体；所述顶膜结构的顶端的表面与4个所述圆柱体的顶部在同一平面，使得蓝膜同时接触所述顶膜结构的顶端的表面和所述圆柱体的顶部；在扩晶机工作时，所述顶膜结构向上升起，所述圆柱体随所述顶膜结构向上升起，所述蓝膜被扩张，与所述蓝膜接触的所述圆柱体被扩张的所述蓝膜带动而转动并且改变所述蓝膜的拉伸方向，使得所述蓝膜受力较小并且受力均匀。

2.根据权利要求1所述的扩晶机的顶膜结构，其特征是，所述圆柱体包括实心的圆柱体或者中空的圆柱体。

3.根据权利要求1所述的扩晶机的顶膜结构，其特征是，所述顶膜结构的顶端的表面是蓝膜接触面，蓝膜放置在所述蓝膜接触面上，所述蓝膜接触面的外周的俯视形状为正方形或矩形，使得蓝膜沿晶元上的芯片切割道方向扩张。

4.根据权利要求1所述的扩晶机的顶膜结构，其特征是，所述顶膜结构的顶端的表面与所述的圆柱体的顶部在同一平面，使得所述蓝膜同时接触所述顶膜结构的顶端的表面和所述的圆柱体的顶部。

5.根据权利要求1所述的扩晶机的顶膜结构，其特征是，所述圆柱体的支架与顶膜结构是一体成型。

6.根据权利要求1所述的扩晶机的顶膜结构，其特征是，所述圆柱体的支架是固定在顶膜结构上。

7.根据权利要求1所述的扩晶机的顶膜结构，其特征是，所述顶膜结构具有加热结构。

8.根据权利要求1所述的扩晶机的顶膜结构，其特征是，4个所述圆柱体分别具有加热结构。