[实用新型]一种基于隧道磁阻效应的微机械陀螺

权利要求书

1.一种基于隧道磁阻效应的微机械陀螺，其特征在于，包括：键合基体、永磁体及微陀螺角速度敏感体，所述键合基体几何中心处具有一凹槽，所述永磁体设置在上述凹槽中心位置；所述微陀螺角速度敏感体设置在永磁体相反于键合基体的一侧，并所述微陀螺角速度敏感体固定在键合基体上；

所述微陀螺角速度敏感体包括对应设置在凹槽上方的灵敏测量体，所述灵敏测量体上表面设有隧道磁敏电阻、通孔及置梁槽，所述隧道磁敏电阻位于灵敏测量体上表面中心，并与永磁体位置对应，所述通孔及置梁槽均匀布置在隧道磁敏电阻四周；

所述隧道磁敏电阻包括半导体材料衬底层上依次排布的第一铁磁层、绝缘层及第二铁磁层。

2.根据权利要求1所述的微机械陀螺，其特征在于，所述键合基体包括基板及垫层框体，所述垫层框体为方形中空框体，所述垫层框体下侧与基板键合连接并且共同形成方形凹槽；所述的永磁体为多层结构。

3.根据权利要求2所述的微机械陀螺，其特征在于，所述微陀螺角速率敏感体进一步包括：

定齿电极正极，所述的定齿电极正极为两个，分别置于垫衬框体左、右边框的上表面并粘结牢固，并且该正极上表面设定齿，并粘结牢固；

定齿电极负极，所述的定齿电极负极为灵敏测量体左、右两侧动齿的电极，所述定齿电极负极与定齿电极正极在同一平面，置于垫衬 框体前、后边框上表面，粘结牢固，并且定齿电极负极的上表面设固定座，并粘结牢固；

组合梁，所述的组合梁由驱动梁、检测梁、连接块构成，用于连接固定座和灵敏测量体。

4.根据权利要求3所述的微机械陀螺，其特征在于，所述的定齿电极正极上设有定齿的基座；所述的定齿电极负极上设有所述的固定座，固定座有前、后两个，分别置于两个定齿电极负极上表面，并通过组合梁与灵敏测量体相连接；所述灵敏测量体上表面的隧道磁敏电阻通过隧道磁敏电阻引出线与隧道磁敏电阻引线焊盘相连；所述灵敏测量体上表面两侧对称位置设有两根反馈导线，反馈导线端部经组合梁与固定座上表面的反馈导线引线焊盘相连接；固定座与组合梁相连接部位的上表面设有隧道磁敏电阻引线焊盘和反馈导线引线焊盘。

5.根据权利要求3所述的微机械陀螺，其特征在于，所述的灵敏测量体为方形；所述的灵敏测量体前、后对称位置分别通过组合梁与固定座相连接；所述置梁槽设置在灵敏测量体的四角处，在所述灵敏测量体上设有隧道磁敏电阻及其引出线分布处分别设置通孔。

6.根据权利要求3所述的微机械陀螺，其特征在于，所述的定齿与所述灵敏测量体两侧边缘的动齿交叉吻合。

7.根据权利要求3所述的微机械陀螺，其特征在于，所述的组合梁呈回折形，驱动梁和检测梁通过连接块相连接，组合梁中驱动梁的厚度与灵敏测量体的厚度相同，检测梁的厚度小于两侧驱动梁。