[实用新型]基于PSD闭环控制的压电陶瓷微位移驱动电源

权利要求书

1.基于PSD闭环控制的压电陶瓷微位移驱动电源，包括控制面板、单片机、压电陶瓷驱动器、压电陶瓷和微位移反馈装置，控制面板的输出端连接单片机，单片机的输出端通过压电陶瓷驱动器与压电陶瓷建立连接，微位移反馈装置将压电陶瓷与单片机建立连接，其特征在于：所述微位移反馈装置包括PSD传感器、信号调理电路、光源、透镜和A/D转换模块，所述光源置于压电陶瓷上，光源的输出光线通过透镜射入PSD传感器，PSD传感器的输出端通过依次串联的信号调理电路和A/D转换模块与单片机建立连接。

2.根据权利要求1所述基于PSD闭环控制的压电陶瓷微位移驱动电源，其特征在于：所述信号调理电路包括第一调理支路、第二调理支路和差分放大器，第一调理支路和第二调理支路结构相同，第一调理支路包括依次串联连接的放大器、背光和暗电流消除电路、对数放大电路和缓冲放大电路，所述放大器的输入端为第一调理电路的输入端，缓冲放大电路的输出端为第一调理支路的输出端，第一调理支路输入端和第二调理支路的输入端连接PSD传感器的输出端，第一调理支路的输出端和第二调理支路的输出端均与差分放大器的输入端建立连接，差分放大器的输出端为信号调理电路的输出端。

3.根据权利要求2所述基于PSD闭环控制的压电陶瓷微位移驱动电源，其特征在于：所述单片机与压电陶瓷驱动器之间设有依次串联连接的D/A转换模块、功率放大模块和电压跟随模块。

4.根据权利要求3所述基于PSD闭环控制的压电陶瓷微位移驱动电源，其特征在于：所述基于PSD闭环控制的压电陶瓷微位移驱动电源包括快速放电电路，所述电压跟随模块的输出端与快速放电电路的输出端建立连接，快速放电电路的输出端连接压电陶瓷驱动器。