[实用新型]一种泡生法蓝宝石长晶设备的称重自卸载液压装置

说明书

技术领域

本专利涉及泡生法蓝宝石晶体制造领域，尤其涉及一种泡生法蓝宝石长晶设备的称重自卸载液压装置，同时可适用于其他相似领域。

背景技术

由于蓝宝石晶体的光学穿透带很宽，从近紫外光(190nm)到中红外线都具有很好的透光性，因此被大量用在光学元件、红外装置、高强度激光镜片材料及掩模材料上。目前超高亮度白/蓝光LED的品质取决于氮化镓外延（GaN）的材料品质，而氮化镓外延品质则与所使用的蓝宝石基板表面加工品质息息相关，蓝宝石（单晶Al₂O₃）C面Ⅲ-Ⅴ和Ⅱ-Ⅵ族沉积薄膜之间的晶格常数失配率小，同时符合GaN 外延工艺中耐高温的要求，使得蓝宝石晶片成为制作白/蓝/绿光LED的关键材料。

目前最成熟的生长大尺寸低应力无缺陷蓝宝石晶体的技术仍然还是泡生法。目前泡生法生长蓝宝石晶体的重量越来越大，从35kg级，发展到60kg级，80kg级，100kg级，甚至到120kg级。而晶体重量是体现晶体生长状况的重要参数，但是随着晶体重量的增加，所采用的传感器的重量等级也在不断增加，同时称重传感器的可分辨最小重量也在不断增加，最终导致这些低精度的称重数据失去参考价值。

发明内容

（一）要解决的技术问题

为了能在大公斤级设备上继续使用小量程的称重传感器，本专利提供一种泡生法蓝宝石长晶设备的称重自卸载液压装置，在引晶结束以后，卸除晶体重量，保护小量程的称重传感器不受损害。

（二）技术方案

为达到上述目的，本发明提供一种泡生法蓝宝石长晶设备的称重自卸载液压装置，设置起到容纳作用的容腔，所述的容腔顶部设置起到密封作用的顶盖，所述的顶盖的底面设置传感器支架，所述的传感器支架两边至少分别设置一个定位孔，设置光头螺栓穿过所述的定位孔，与所述的顶盖固定连接，并设置所述的传感器支架与所述的顶盖之间具有间隙，所述的传感器支架下面设置称重传感器，所述的称重传感器连接籽晶杆支架，所述的籽晶杆支架设置在所述的容腔底部，所述的籽晶杆支架连接籽晶杆，所述的籽晶杆穿过所述的容腔底部的通孔，所述的容腔底部设置至少一个液压力举装置，所述的液压力举装置设置在所述的传感器支架下方。

所述的液压力举装置设置液压缸和油管，所述的油管穿过所述的容腔底部的通孔。

（三）有益效果

从上述技术方案可以看出，本专利具有以下有益效果：

1、引晶阶段，让晶体重量施加在称重传感器上，获得高精度的称重数据；

2、引晶结束以后，将重量从称重传感器上卸载下来，避免蓝宝石晶体长大以后损害称重传感器。

附图说明

图1为泡生法蓝宝石长晶设备的外形示意图；

    图2为称重自卸载液压装置的结构示意图。

具体实施方式

下面结合具体的实施实例对本专利作进一步展开说明，但需要指出的是，本专利所要求保护的结构并不限于实施例及说明书附图中的具体结构。对于本领域普通技术人员可以推知的其他结构形式，亦属于本发明所要求保护的范围之内。

请参阅图1、图2，一种泡生法蓝宝石长晶设备的称重自卸载液压装置，设置在炉膛10的顶部，包括起到容纳作用的容腔1，所述的容腔1顶部设置起到密封作用的顶盖2，所述的顶盖2上设置了带密封圈的开孔，可以为所述的容腔1内部的装置提供连接线。

所述的传感器支架3两边至少分别设置一个定位孔，设置光头螺栓9穿过所述的定位孔，与所述的顶盖2固定连接，并设置所述的传感器支架3与所述的顶盖2之间具有间隙。因此，所述的传感器支架3可以上下移动，左右及前后位置由所述的定位孔和光头螺栓9确定。

所述的传感器支架3下面设置称重传感器4，所述的称重传感器4连接籽晶杆支架5，而所述的籽晶杆支架5设置在所述的容腔1底部。所述的籽晶杆支架5连接籽晶杆6，所述的籽晶杆6穿过所述的容腔1底部的通孔，所述的籽晶杆6末端设置籽晶夹头，所述的籽晶夹头设置籽晶，所述的籽晶进行蓝宝石晶体的生长。因此，所述的容腔1的底部支撑了所述的籽晶杆6及以下的重量，此时所述的称重传感器4是没有负载的。

所述的容腔1底部设置至少一个液压力举装置，所述的液压力举装置设置液压缸7和油管8，所述的油管8穿过所述的容腔1底部的通孔，这个通孔需要进行橡胶圈真空密封。

所述的液压缸7设置最大行程为将所述的传感器支架3移动到所述的顶盖2的底部。

      工作过程如下：