[实用新型]一种加速度计中的Z轴结构

权利要求书

1.一种加速度计中的Z轴结构，包括衬底(4)，其特征在于，还包括：

通过侧壁连接的弹性梁(5)支撑在衬底(4)上方，相对于衬底(4)在Z轴方向上来回平动的质量块(1)，其中所述质量块(1)的侧壁上设置有第一可动电极极片(10)、第二可动电极极片(11)；

设置在衬底(4)上的第一固定电极极片(20)、第二固定电极极片(30)，所述第一固定电极极片(20)、第二固定电极极片(30)朝由X轴、Y轴组成的平面方向延伸；

所述第一可动电极极片(10)与第一固定电极极片(20)的侧壁相对，构成第一Z轴检测电容；所述第二可动电极极片(11)与第二固定电极极片(30)的侧壁相对，构成第二Z轴检测电容；

其中，初始状态下，第一固定电极极片(20)其中一端的端面低于第一可动电极极片(10)相同端的端面；而第二固定电极极片(30)中与第一固定电极极片(20)相同端的端面高于第二可动电极极片(11)中与第一固定电极极片(20)相同端的端面。

2.根据权利要求1所述的Z轴结构，其特征在于：所述质量块(1)上设置有通孔，第一可动电极极片(10)、第二可动电极极片(11)设置在质量块(1)通孔的侧壁上。

3.根据权利要求1所述的Z轴结构，其特征在于：初始状态下，第一固定电极极片(20)的上端面低于第一可动电极极片(10)的上端面；第二固定电极极片(30)的上端面高于第二可动电极极片(11)的上端面。

4.根据权利要求3所述的Z轴结构，其特征在于：初始状态下，第一固定电极极片(20)的下端面与第一可动电极极片(10)的下端面齐平；第二固定电极极片(30)的下端面与第二可动电极极片(11)的下端面齐平。

5.根据权利要求4所述的Z轴结构，其特征在于：初始状态下，所述第一固定电极极片(20)、第一可动电极极片(10)、第二固定电极极片(30)、第二可动电极极片(11)的下端面均齐平。

6.根据权利要求3所述的Z轴结构，其特征在于：初始状态下，所述第一固定电极极片(20)的下端面低于第一可动电极极片(10)的下端面；所述第二固定电极极片(30)的下端面高于第二可动电极极片(11)的下端面。

7.根据权利要求1至6任一项所述的Z轴结构，其特征在于：所述第一固定电极极片(20)、第一可动电极极片(10)设有多个，多个第一可动电极极片(10)沿着质量块(1)的侧壁分布；多个第一固定电极极片(20)、第一可动电极极片(10)构成梳齿电容结构。

8.根据权利要求7所述的Z轴结构，其特征在于：所述第二固定电极极片(30)、第二可动电极极片(11)分别有多个，多个第二可动电极极片(11)沿着质量块(1)的侧壁分布；多个第二固定电极极片(30)、第二可动电极极片(11)构成梳齿电容结构。

9.根据权利要求8所述的Z轴结构，其特征在于：所述第一固定电极极片(20)、第二固定电极极片(30)在衬底(4)上平行布置。

10.根据权利要求1所述Z轴结构，其特征在于：所述第一可动电极极片(10)、第二可动电极极片(11)与质量块(1)一体成型。